[發明專利]一種旋轉靶材的垂直綁定裝置以及綁定方法

有效

• 申請號: 201910732403.8
• 申請日: 2019-08-13
• 公開（公告）號: CN110408897B
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發明（設計）人: 高明;張花蕊;張虎;陳浩杰
• 申請（專利權）人: 北京航大微納科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B23K1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種旋轉靶材的垂直綁定裝置，包括襯管(1)、分段套設在襯管(1)上的至少兩個靶管(2)、所述襯管(1)內設有內加熱裝置(3)，所述靶管(2)外設有外加熱裝置(4)；其特征在于：所述內加熱裝置(3)沿所述襯管(1)的延伸方向分為獨立控制的多個加熱段(31)，所述加熱段(31)與所述靶管(2)一一對應設置；所述外加熱裝置(4)與所述靶管(2)一一對應設置，每個所述外加熱裝置(4)均為獨立控制；

所述內加熱裝置(3)包括加熱絲卷繞而成的加熱棒(32)，以及套設在所述加熱棒(32)外的導熱套(33)。

2.根據權利要求1所述的旋轉靶材的垂直綁定裝置，其特征在于：每個所述加熱段(31)與第一溫控器(5)對應連接，每個所述外加熱裝置(4)與第二溫控器(6)對應連接。

3.根據權利要求1所述的旋轉靶材的垂直綁定裝置，其特征在于：所述外加熱裝置(4)為包覆在對應的所述靶管(2)外側的加熱套。

4.根據權利要求3所述的旋轉靶材的垂直綁定裝置，其特征在于：在所述加熱套上設有可脫開的連接結構(41)。

5.根據權利要求4所述的旋轉靶材的垂直綁定裝置，其特征在于：所述連接結構(41)為對應設置在所述加熱套兩端的公魔術貼和母魔術貼。

6.根據權利要求1至5任一權利要求所述的旋轉靶材的垂直綁定裝置，其特征在于：所述加熱段(31)長度為20-600mm。

7.根據權利要求1至5任一權利要求所述的旋轉靶材的垂直綁定裝置，其特征在于：所述內加熱裝置(3)的上端設有拉環(34)。

8.一種旋轉靶材的綁定方法，其特征在于包括以下步驟：

(a)固定內加熱裝置(3)于襯管(1)內，控制固定內加熱裝置(3)的所有加熱段(31)開始加熱；

(b)將襯管(1)加熱至焊料的熔化溫度時，使用焊料對襯管(1)待綁定的對應區域的外表面進行潤濕，潤濕完畢后保溫；

(c)在靶管(2)外面套裝對應的外加熱裝置(4)，控制外加熱裝置(4)對靶管(2)進行加熱，將靶管(2)加熱至焊料的熔化溫度時，使用焊料對靶管(2)的內表面進行潤濕，潤濕完畢后保溫；

(d)?在保溫狀態下，將一節潤濕后的靶管(2)套設在潤濕后的襯管(1)的外側，且在靶管(2)和襯管(1)之間灌注熔融的焊料；

(e)控制該靶管(2)對應的內加熱裝置(3)的加熱段(31)和外加熱裝置(4)進入降溫程序；

(f)根據需要重復步驟(b)至(e)來綁定多節靶管(2)。

9.根據權利要求8所述的旋轉靶材的綁定方法，其特征在于：

在進行步驟(b)對襯管(1)潤濕過程的同時進行步驟(c)。