[發(fā)明專利]光波導(dǎo)的制備方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201910727167.0
• 申請日: 2019-08-07
• 公開（公告）號: CN110412686A
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張曉飛
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳鑫振華光電科技有限公司
• 主分類號: G02B6/13
• 分類號: G02B6/13
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明提供一種光波導(dǎo)的制備方法，包括：在硅基板表面用干氧氧化法生長二氧化硅薄膜作為光波導(dǎo)的下包層；將處理后的硅基板放入濃硫酸與雙氧水的混合液中浸泡30?60分鐘后使用超聲波清洗10?15分鐘待用；將配置好的聚甲烯丙烯酸甲酯粘稠溶液裝入噴涂筆腔內(nèi)，在氣壓作用下利用二維加工平臺將粘稠溶液噴涂在硅基板的表面；將處理后的硅基板放入干燥箱內(nèi)加熱干燥。該光波導(dǎo)制備方法步驟簡單，可以非常靈活方便地制作各種平面結(jié)構(gòu)的光波導(dǎo)，光波導(dǎo)的規(guī)格參數(shù)滿足用戶自定義的需求。非常適合小批量試生產(chǎn)工藝需求。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光器件技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及光波導(dǎo)的制備方法。

背景技術(shù)

平面光波導(dǎo)器件以其體積小、集成度高、可靠性好等優(yōu)點被廣泛應(yīng)用在光調(diào)制器、光開關(guān)、光功率分配器、光耦合器、波分復(fù)用器、光濾波器、偏振分束器以及微透鏡等光學(xué)產(chǎn)品中。

目前的光波導(dǎo)制備工藝需要曝光刻蝕，制作工藝復(fù)雜，制備光波導(dǎo)的靈活性差，不符合小批量試生產(chǎn)工藝的需求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的上述問題，提供了一種片狀式電感器的制備方法用于解決現(xiàn)有技術(shù)的不足。

具體地，本發(fā)明實施例提供了一種光波導(dǎo)的制備方法，包括：

在硅基板表面用干氧氧化法生長二氧化硅薄膜作為光波導(dǎo)的下包層；

將處理后的硅基板放入濃硫酸與雙氧水的混合液中浸泡30-60分鐘后使用超聲波清洗10-15分鐘待用；

將配置好的聚甲烯丙烯酸甲酯粘稠溶液裝入噴涂筆腔內(nèi)，在氣壓作用下利用二維加工平臺將粘稠溶液噴涂在硅基板的表面；

將處理后的硅基板放入干燥箱內(nèi)加熱干燥。

進(jìn)一步地，所述聚甲烯丙烯酸甲酯粘稠溶液采用將聚甲烯丙烯酸甲酯粉末溶解在90-95％的丙酮溶液中制備而成。

進(jìn)一步地，將處理后的硅基板放入干燥箱內(nèi)加熱干燥所采用的溫度控制如下：升溫過程采用每分鐘升高5攝氏度，并且在57攝氏度保溫維持1小時，在100攝氏度保溫維持維持1小時，升溫至200攝氏度保溫維持2小時后冷卻。

進(jìn)一步地，所述噴涂筆包括：筆帽、筆筒和針頭；所述筆帽與所述筆筒的頂端螺紋連接；所述針頭與所述筆筒的底端螺紋連接；所述筆帽上開設(shè)有進(jìn)氣口；所述筆筒的頂部呈圓柱形，所述筆筒的底部呈圓錐形。

進(jìn)一步地，所述針頭的孔徑為0.6mm。

進(jìn)一步地，所述針頭的底端與所述硅基板的高度為1-2毫米。

進(jìn)一步地，所述將處理后的硅基板放入干燥箱內(nèi)加熱干燥之后還包括：

在硅基板涂有聚甲烯丙烯酸甲酯的一面旋涂保護(hù)膠層。

進(jìn)一步地，所述保護(hù)膠層為LED有機(jī)硅封裝膠。

進(jìn)一步地，將濃度為98％的濃硫酸與濃度為30％的雙氧水按體積比1：3混合得到濃硫酸與雙氧水的混合液。

進(jìn)一步地，所述二維加工平臺的平移速度為4-6mm/s。

采用本發(fā)明提供的技術(shù)方案，與已有的公知技術(shù)相比，至少具有如下有益效果：該光波導(dǎo)制備方法步驟簡單，可以非常靈活方便地制作各種平面結(jié)構(gòu)的光波導(dǎo)。光波導(dǎo)的規(guī)格參數(shù)滿足用戶自定義的需求。非常適合小批量試生產(chǎn)工藝需求。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例的技術(shù)方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應(yīng)當(dāng)理解，以下附圖僅示出了本發(fā)明的某些實施例，因此不應(yīng)被看作是對范圍的限定，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。