[發明專利]光波導的制備方法在審
| 申請號： | 201910727167.0 | 申請日： | 2019-08-07 |
| 公開（公告）號： | CN110412686A | 公開（公告）日： | 2019-11-05 |
| 發明（設計）人： | 張曉飛 | 申請（專利權）人： | 深圳鑫振華光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B6/13 | 分類號： | G02B6/13 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市龍*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光波導 硅基板 粘稠溶液 放入 噴涂 制備 雙氧水 二氧化硅薄膜 丙烯酸甲酯 超聲波清洗 光波導制備 硅基板表面 二維加工 干氧氧化 規格參數 加熱干燥 平面結構 氣壓作用 混合液 濃硫酸 下包層 小批量 自定義 筆腔 生產工藝 裝入 浸泡 生長 靈活 配置 制作 | ||
1.一種光波導的制備方法，其特征在于，包括：
在硅基板表面用干氧氧化法生長二氧化硅薄膜作為光波導的下包層；
將處理后的硅基板放入濃硫酸與雙氧水的混合液中浸泡30-60分鐘后使用超聲波清洗10-15分鐘待用；
將配置好的聚甲烯丙烯酸甲酯粘稠溶液裝入噴涂筆腔內，在氣壓作用下利用二維加工平臺將粘稠溶液噴涂在硅基板的表面；
將處理后的硅基板放入干燥箱內加熱干燥。
2.根據權利要求1所述的光波導的制備方法，其特征在于，所述聚甲烯丙烯酸甲酯粘稠溶液采用將聚甲烯丙烯酸甲酯粉末溶解在90-95％的丙酮溶液中制備而成。
3.根據權利要求1所述的光波導的制備方法，其特征在于，將處理后的硅基板放入干燥箱內加熱干燥所采用的溫度控制如下：升溫過程采用每分鐘升高5攝氏度，并且在57攝氏度保溫維持1小時，在100攝氏度保溫維持維持1小時，升溫至200攝氏度保溫維持2小時后冷卻。
4.根據權利要求1所述的光波導的制備方法，其特征在于，所述噴涂筆包括：筆帽、筆筒和針頭；所述筆帽與所述筆筒的頂端螺紋連接；所述針頭與所述筆筒的底端螺紋連接；所述筆帽上開設有進氣口；所述筆筒的頂部呈圓柱形，所述筆筒的底部呈圓錐形。
5.根據權利要求4所述的光波導的制備方法，其特征在于，所述針頭的孔徑為0.6mm。
6.根據權利要求4所述的光波導的制備方法，其特征在于，所述針頭的底端與所述硅基板的高度為1-2毫米。
7.根據權利要求1所述的光波導的制備方法，其特征在于，所述將處理后的硅基板放入干燥箱內加熱干燥之后還包括：
在硅基板涂有聚甲烯丙烯酸甲酯的一面旋涂保護膠層。
8.根據權利要求7所述的光波導的制備方法，其特征在于，所述保護膠層為LED有機硅封裝膠。
9.根據權利要求1所述的光波導的制備方法，其特征在于，將濃度為98％的濃硫酸與濃度為30％的雙氧水按體積比1：3混合得到濃硫酸與雙氧水的混合液。
10.根據權利要求1所述的光波導的制備方法，其特征在于，所述二維加工平臺的平移速度為4-6mm/s。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于深圳鑫振華光電科技有限公司，未經深圳鑫振華光電科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201910727167.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
