[發(fā)明專利]一種噴墨打印柔性顯示器件制造系統(tǒng)及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910726036.0
• 申請日: 2019-08-07
• 公開（公告）號: CN110588186B
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發(fā)明（設計）人: 陳建魁;尹周平;黃永安;楊華;段永青;王一新;劉強強;李華陽;宋開友;邵志龍;呂佳超;張舟;歐聞
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: B41J3/407
• 分類號: B41J3/407;B41J3/44;B41J11/00;C23C14/34;B05B13/04;B05B13/02;B05B12/08;B05D1/02
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 梁鵬;曹葆青

1.一種噴墨打印柔性顯示器件制造系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括基板輸入模塊(100)、基板轉移模塊(200)、噴印模塊(300)、噴印后處理模塊(400)、固含量檢測模塊(500)、薄膜封裝噴印模塊(600)、成膜檢測模塊(700)和基板輸出模塊(800)，其中：

所述基板輸入模塊(100)設置于整個制造系統(tǒng)的前端，并用于將作為承印材料的基板執(zhí)行預處理，然后輸送進入到所述噴印模塊(300)；

所述基板轉移模塊(200)處于整個制造系統(tǒng)的中央區(qū)域，它具有多套基板搬運機械手(201)和環(huán)形軌道(202)，并且沿著該環(huán)形軌道的周向方向布置有所述噴印模塊(300)、噴印后處理模塊(400)、固含量檢測模塊(500)、薄膜封裝噴印模塊(600)和成膜檢測模塊(700)這些功能模塊，由此根據不同工況需求，采用該基板搬運機械手(201)在所述環(huán)形軌道(202)上執(zhí)行定向運動，從而將基板在上述功能模塊之間實現搬運及轉移；

所述噴印模塊(300)包括第一Y軸運動單元(360)、第一X軸運動單元(370)、第一噴頭單元(310)、第一噴頭上視檢測單元(320)、第一基板下視檢測單元(330)、第一飛行墨滴觀測單元(340)和噴印AOI檢測單元(350)，其中該第一Y軸運動單元(360)用于實現所述第一噴頭單元(310)在橫向方向也即Y軸方向上的移動，該第一X軸運動單元(370)用于實現基板在縱向方向也即X軸方向上的移動；該第一噴頭單元(310)還配備有豎直方向也即Z軸方向上的運動組件，并在到達預定位置后用于在基板表面上執(zhí)行墨水材料功能層的圖案化沉積；此外，該第一噴頭上視檢測單元(320)用于對所述第一噴頭單元的噴頭表面潔凈度及位置角度進行實時檢測，該第一基板下視檢測單元(330)用于對基板的位置進行實時檢測；該第一飛行墨滴觀測單元(340)用于對所述第一噴頭單元所噴射的墨滴狀態(tài)進行觀測并執(zhí)行驅動波形校準，該噴印AOI檢測單元(350)則用于對完成圖案化沉積后的基板執(zhí)行掃描成像，同時利用采集的圖像進行各類噴印缺陷的檢測；

所述噴印后處理模塊(400)用于將完成圖案化沉積后被轉移至此的基板進行真空干燥、烘烤及固化處理；

所述固含量檢測模塊(500)包括薄膜表面濺射設備(510)和薄膜表面檢測設備(520)，其中該薄膜表面濺射設備(510)用于將轉移至此的基板在其指定區(qū)域濺射鍍金屬層，并送至該薄膜表面檢測設備(520)檢測獲知鍍金屬層前后墨水材料功能層的形貌特征；

所述薄膜封裝噴印模塊(600)用于將轉移至此的基板在其表面繼續(xù)執(zhí)行薄膜封裝墨水材料的打印成膜；所述成膜檢測模塊(700)與該薄膜封裝噴印模塊(600)保持相連，并用于檢測上述薄膜封裝后的基板表面是否存在質量缺陷；

所述基板輸出模塊(800)設置于整個制造系統(tǒng)的后端，并包括第一基板旋轉組件(801)、第一直線運動組件(802)、第一基板夾具(803)和第一氣浮平臺(804)，其中該第一基板旋轉組件(801)用于將轉移至此的基板首先調整運動方向，該第一氣浮平臺(804)借助于氣流使基板懸浮于平臺表面；該第一基板夾具(803)夾持住基板，并通過所述第一直線運動組件(802)的往復運動，從而將基板最終輸出上述制造系統(tǒng)。

2.如權利要求1所述的一種噴墨打印柔性顯示器件制造系統(tǒng)，其特征在于，對于所述基板輸入模塊(100)而言，其包括第二氣浮平臺(101)、第二直線運動組件(102)、第二基板夾具(103)和第二基板旋轉組件(104)，其中該第二氣浮平臺(101)借助于氣流使基板懸浮于平臺表面，該第二基板夾具(103)夾持住基板，并通過該第二直線運動組件(102)的往復運動來實現基板的輸送運動；該第二基板旋轉組件(104)則用于調制基板運動方向，確保其進入到所述噴印模塊(300)。