[發(fā)明專利]一種噴墨打印柔性顯示器件制造系統(tǒng)及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910726036.0
• 申請日: 2019-08-07
• 公開（公告）號: CN110588186B
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳建魁;尹周平;黃永安;楊華;段永青;王一新;劉強強;李華陽;宋開友;邵志龍;呂佳超;張舟;歐聞
• 申請（專利權(quán)）人: 華中科技大學(xué)
• 主分類號: B41J3/407
• 分類號: B41J3/407;B41J3/44;B41J11/00;C23C14/34;B05B13/04;B05B13/02;B05B12/08;B05D1/02
• 代理公司: 華中科技大學(xué)專利中心 42201
• 代理人: 梁鵬;曹葆青

1.一種噴墨打印柔性顯示器件制造系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括基板輸入模塊(100)、基板轉(zhuǎn)移模塊(200)、噴印模塊(300)、噴印后處理模塊(400)、固含量檢測模塊(500)、薄膜封裝噴印模塊(600)、成膜檢測模塊(700)和基板輸出模塊(800)，其中：

所述基板輸入模塊(100)設(shè)置于整個制造系統(tǒng)的前端，并用于將作為承印材料的基板執(zhí)行預(yù)處理，然后輸送進(jìn)入到所述噴印模塊(300)；

所述基板轉(zhuǎn)移模塊(200)處于整個制造系統(tǒng)的中央?yún)^(qū)域，它具有多套基板搬運機械手(201)和環(huán)形軌道(202)，并且沿著該環(huán)形軌道的周向方向布置有所述噴印模塊(300)、噴印后處理模塊(400)、固含量檢測模塊(500)、薄膜封裝噴印模塊(600)和成膜檢測模塊(700)這些功能模塊，由此根據(jù)不同工況需求，采用該基板搬運機械手(201)在所述環(huán)形軌道(202)上執(zhí)行定向運動，從而將基板在上述功能模塊之間實現(xiàn)搬運及轉(zhuǎn)移；

所述噴印模塊(300)包括第一Y軸運動單元(360)、第一X軸運動單元(370)、第一噴頭單元(310)、第一噴頭上視檢測單元(320)、第一基板下視檢測單元(330)、第一飛行墨滴觀測單元(340)和噴印AOI檢測單元(350)，其中該第一Y軸運動單元(360)用于實現(xiàn)所述第一噴頭單元(310)在橫向方向也即Y軸方向上的移動，該第一X軸運動單元(370)用于實現(xiàn)基板在縱向方向也即X軸方向上的移動；該第一噴頭單元(310)還配備有豎直方向也即Z軸方向上的運動組件，并在到達(dá)預(yù)定位置后用于在基板表面上執(zhí)行墨水材料功能層的圖案化沉積；此外，該第一噴頭上視檢測單元(320)用于對所述第一噴頭單元的噴頭表面潔凈度及位置角度進(jìn)行實時檢測，該第一基板下視檢測單元(330)用于對基板的位置進(jìn)行實時檢測；該第一飛行墨滴觀測單元(340)用于對所述第一噴頭單元所噴射的墨滴狀態(tài)進(jìn)行觀測并執(zhí)行驅(qū)動波形校準(zhǔn)，該噴印AOI檢測單元(350)則用于對完成圖案化沉積后的基板執(zhí)行掃描成像，同時利用采集的圖像進(jìn)行各類噴印缺陷的檢測；

所述噴印后處理模塊(400)用于將完成圖案化沉積后被轉(zhuǎn)移至此的基板進(jìn)行真空干燥、烘烤及固化處理；

所述固含量檢測模塊(500)包括薄膜表面濺射設(shè)備(510)和薄膜表面檢測設(shè)備(520)，其中該薄膜表面濺射設(shè)備(510)用于將轉(zhuǎn)移至此的基板在其指定區(qū)域濺射鍍金屬層，并送至該薄膜表面檢測設(shè)備(520)檢測獲知鍍金屬層前后墨水材料功能層的形貌特征；

所述薄膜封裝噴印模塊(600)用于將轉(zhuǎn)移至此的基板在其表面繼續(xù)執(zhí)行薄膜封裝墨水材料的打印成膜；所述成膜檢測模塊(700)與該薄膜封裝噴印模塊(600)保持相連，并用于檢測上述薄膜封裝后的基板表面是否存在質(zhì)量缺陷；

所述基板輸出模塊(800)設(shè)置于整個制造系統(tǒng)的后端，并包括第一基板旋轉(zhuǎn)組件(801)、第一直線運動組件(802)、第一基板夾具(803)和第一氣浮平臺(804)，其中該第一基板旋轉(zhuǎn)組件(801)用于將轉(zhuǎn)移至此的基板首先調(diào)整運動方向，該第一氣浮平臺(804)借助于氣流使基板懸浮于平臺表面；該第一基板夾具(803)夾持住基板，并通過所述第一直線運動組件(802)的往復(fù)運動，從而將基板最終輸出上述制造系統(tǒng)。

2.如權(quán)利要求1所述的一種噴墨打印柔性顯示器件制造系統(tǒng)，其特征在于，對于所述基板輸入模塊(100)而言，其包括第二氣浮平臺(101)、第二直線運動組件(102)、第二基板夾具(103)和第二基板旋轉(zhuǎn)組件(104)，其中該第二氣浮平臺(101)借助于氣流使基板懸浮于平臺表面，該第二基板夾具(103)夾持住基板，并通過該第二直線運動組件(102)的往復(fù)運動來實現(xiàn)基板的輸送運動；該第二基板旋轉(zhuǎn)組件(104)則用于調(diào)制基板運動方向，確保其進(jìn)入到所述噴印模塊(300)。