[發明專利]一種真空型太赫茲干燥探頭及檢測方法

在審

• 申請號: 201910723729.4
• 申請日: 2019-08-07
• 公開（公告）號: CN112345484A
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發明（設計）人: 王丹
• 申請（專利權）人: 華太極光光電技術有限公司
• 主分類號: G01N21/3581
• 分類號: G01N21/3581;G01N21/59;G01N21/88;G01N21/11
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 尹麗云

1.一種真空型太赫茲干燥探頭，其特征在于，包括：

腔體、抽真空模塊、太赫茲波發射模塊、太赫茲波接收模塊，所述腔體內設置有用于調節太赫茲波傳輸方向的調節裝置和用于放置被測物體的置物臺；所述抽真空模塊與所述腔體對接，對所述腔體進行抽真空；

所述太赫茲波發射模塊和所述太赫茲波接收模塊設置于所述腔體外部；

所述調節裝置接收所述太赫茲波發射模塊發出的太赫茲波，并將所述太赫茲波聚焦到被測物體表面；

所述調節裝置將穿過所述被測物體表面的太赫茲波發送給所述太赫茲波接收模塊，對被測物體進行檢測。

2.根據權利要求1所述的真空型太赫茲干燥探頭，其特征在于，所述調節裝置包括入射波通路調節模塊、檢測通路調節模塊和出射波通路調節模塊；所述入射波通路調節模塊將所述太赫茲發射模塊發出的太赫茲波轉換為平行入射的太赫茲波，并傳輸至所述檢測通路調節模塊；所述檢測通路調節模塊將太赫茲波聚焦到被測物體處，并將所述太赫茲波傳輸至出射波通路調節模塊，通過所述出射波通路調節模塊將所述太赫茲波匯聚到所述太赫茲波接收模塊。

3.根據權利要求2所述的真空型太赫茲干燥探頭，其特征在于，所述檢測通路調節模塊包括兩個位置相對且焦點匯聚于一點的拋物面鏡，被測物體放置于所述拋物面鏡的焦點處；所述平行入射的太赫茲波經過其中一個所述拋物面鏡，聚焦于拋物面鏡的焦點，太赫茲波穿過焦點處的所述被測物體，傳輸至另一個所述拋物面鏡，所述太赫茲波被轉換為平行的出射波發送給出射波通路調節模塊。

4.根據權利要求3所述的真空型太赫茲干燥探頭，其特征在于，所述置物臺由所述腔體內壁向內延伸，所述置物臺經過所述拋物面鏡的焦點，將被測物體置入置物臺中所述拋物面鏡焦點對應位置，通過太赫茲波穿過所述被測物體，對被測物體指定位置進行檢測。

5.根據權利要求1所述的真空型太赫茲干燥探頭，其特征在于，所述置物臺包括封口部件，所述封口部件與所述腔體配合在所述腔體內形成封閉空間。

6.根據權利要求2所述的真空型太赫茲干燥探頭，其特征在于，所述入射波通路調節模塊包括一組透鏡，將所述透鏡焦點處的太赫茲波折射成平行于所述透鏡主軸的太赫茲波。

7.根據權利要求2所述的真空型太赫茲干燥探頭，其特征在于，所述出射波通路調節模塊包括一組透鏡，將平行于所述透鏡主軸的太赫茲波聚焦到所述透鏡的焦點。

8.根據權利要求3所述的真空型太赫茲干燥探頭，其特征在于，在不改變常規拋物面鏡整體結構的情況下，將所述常規拋物面鏡的焦點旋轉90度，獲取所述檢測通路調節模塊的所述拋物面鏡。

9.一種利用如權利要求1-8任一所述的真空型太赫茲干燥探頭的檢測方法，其特征在于，包括：

將被測物體置入所述置物臺；

對所述腔體進行抽真空；

將所述太赫茲波發射模塊發出的太赫茲波聚焦到所述被測物體表面；

通過所述太赫茲波接收模塊接收穿過所述被測物體表面的太赫茲波，對被測物體進行檢測。

10.根據權利要求9所述的真空型太赫茲干燥探頭的檢測方法，其特征在于，所述置物臺包括封口部件，將被測物體置入所述置物臺中，通過所述封口部件與所述腔體配合在所述腔體內形成封閉空間，對所述封閉空間進行抽真空。