[發明專利]一種真空型太赫茲干燥探頭及檢測方法

在審

• 申請號: 201910723729.4
• 申請日: 2019-08-07
• 公開（公告）號: CN112345484A
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發明（設計）人: 王丹
• 申請（專利權）人: 華太極光光電技術有限公司
• 主分類號: G01N21/3581
• 分類號: G01N21/3581;G01N21/59;G01N21/88;G01N21/11
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 尹麗云

本發明提出一種真空型太赫茲干燥探頭，包括：腔體、抽真空模塊、太赫茲波發射模塊和太赫茲波接收模塊，所述腔體內設置有用于調節太赫茲波傳輸方向的調節裝置和用于放置被測物體的置物臺；所述抽真空模塊與所述腔體對接，對所述腔體進行抽真空；所述太赫茲波發射模塊和所述太赫茲波接收模塊設置于所述腔體外部；所述調節裝置接收所述太赫茲波發射模塊發出的太赫茲波，并將所述太赫茲波聚焦到被測物體表面；所述調節裝置將穿過所述被測物體表面的太赫茲波發送給所述太赫茲波接收模塊，對被測物體進行檢測；本發明可有效提高檢測準確性，結構簡單，操作便捷。

技術領域

本發明涉及電磁波應用領域，尤其涉及一種真空型太赫茲干燥探頭及檢測方法。

背景技術

太赫茲波是指頻率在0.1THZ到10THZ范圍的電磁波，波長大概在0.03到3mm，介于微波與紅外之間。目前，市場上包括實驗室所使用的太赫茲探頭有兩種形式，一種為透射式，一種為反射式，透射式與反射式的應用場景不同，其中透射式光路中的光學元件并不完全相同，光路尺寸也不完全相同。透射式探頭面臨的問題是空氣中的水汽會吸收太赫茲光束，從而影響太赫茲光束質量。

發明內容

鑒于以上現有技術存在的問題，本發明提出一種真空型太赫茲探頭及檢測方法，主要解決傳統太赫茲探頭易受水汽影響的問題。

為了實現上述目的及其他目的，本發明采用的技術方案如下。

一種真空型太赫茲干燥探頭，包括：

腔體、抽真空模塊、太赫茲波發射模塊、太赫茲波接收模塊，所述腔體內設置有用于調節太赫茲波傳輸方向的調節裝置和用于放置被測物體的置物臺；所述抽真空模塊與所述腔體對接，對所述腔體進行抽真空；

所述太赫茲波發射模塊和所述太赫茲波接收模塊設置于所述腔體外部；

所述調節裝置接收所述太赫茲波發射模塊發出的太赫茲波，并將所述太赫茲波聚焦到被測物體表面；

所述調節裝置將穿過所述被測物體表面的太赫茲波發送給所述太赫茲波接收模塊，對被測物體進行檢測。

可選地，所述調節裝置包括入射波通路調節模塊、檢測通路調節模塊和出射波通路調節模塊；所述入射波通路調節模塊將所述太赫茲發射模塊發出的太赫茲波轉換為平行入射的太赫茲波，并傳輸至所述檢測通路調節模塊；所述檢測通路調節模塊將太赫茲波聚焦到被測物體處，并將所述太赫茲波傳輸至出射波通路調節模塊，通過所述出射波通路調節模塊將所述太赫茲波匯聚到所述太赫茲波接收模塊。

可選地，所述檢測通路調節模塊包括兩個位置相對且焦點匯聚于一點的拋物面鏡，被測物體放置于所述拋物面鏡的焦點處；所述平行入射的太赫茲波經過其中一個所述拋物面鏡，聚焦于拋物面鏡的焦點，太赫茲波穿過焦點處的所述被測物體，傳輸至另一個所述拋物面鏡，所述太赫茲波被轉換為平行的出射波發送給出射波通路調節模塊。

可選地，所述置物臺由所述腔體內壁向內延伸，所述置物臺經過所述拋物面鏡的焦點，將被測物體置入置物臺中所述拋物面鏡焦點對應位置，通過太赫茲波穿過所述被測物體，對被測物體指定位置進行檢測。

可選地，所述置物臺包括封口部件，所述封口部件與所述腔體配合在所述腔體內形成封閉空間。

可選地，所述入射波通路調節模塊包括一組透鏡，將所述透鏡焦點處的太赫茲波折射成平行于所述透鏡主軸的太赫茲波。

可選地，所述出射波通路調節模塊包括一組透鏡，將平行于所述透鏡主軸的太赫茲波聚焦到所述透鏡的焦點。

可選地，在不改變常規拋物面鏡整體結構的情況下，將所述常規拋物面鏡的焦點旋轉90度，獲取所述檢測通路調節模塊的所述拋物面鏡。

一種真空型太赫茲干燥探頭的檢測方法，包括：

將被測物體置入所述置物臺；