[發明專利]氣體溫度濕度可控的流量控制設備

在審

• 申請號: 201910721836.3
• 申請日: 2019-08-06
• 公開（公告）號: CN110308755A
• 公開（公告）日: 2019-10-08
• 發明（設計）人: 馬弢;牛曉;楊健;張福林
• 申請（專利權）人: 北京曉韜科技有限公司
• 主分類號: G05D27/02
• 分類號: G05D27/02
• 代理公司: 北京細軟智谷知識產權代理有限責任公司 11471
• 代理人: 白冬梅

本發明涉及一種氣體溫度濕度可控的流量控制設備，包括控制設備本體、控制模塊、加濕調節通道、干燥調節通道、溫度調節裝置、加濕器、干燥器和溫濕度傳感器，溫濕度傳感器設置于控制設備本體上的輸出通道處，加濕調節通道通過溫度調節裝置與加濕器相連通，干燥調節通道通過溫度調節裝置與干燥器相連通，加濕調節通道穿過加濕器與控制設備本體上的輸出通道相連通，干燥調節通道穿過干燥器與控制設備本體上的輸出通道相連通，通過溫度調節裝置可以實現對氣體溫度的調節，分別通過調節流經加濕調節通道和干燥調節通道的氣體流量，可配比出不同濕度的目標氣體，同時實現對輸出氣體的溫度和濕度的控制。

技術領域

本發明涉及氣體控制技術領域，具體涉及一種氣體溫度濕度可控的流量控制設備。

背景技術

氣體質量流量控制器(Mass Flow Contrller，MFC)是微電子領域、化工領域等常用的元件，氣體質量流量控制器主要用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制，在半導體微電子工業、特種材料研制、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。傳統流量控制方式僅僅采用氣體質量流量傳感器與調節閥相結合的方式，使用控制單元進行數據采集與控制的比例積分微分調節，但是大多數的只能夠控制氣體的流量和氣體的種類。當用戶對所輸出氣體的溫度和濕度有要求時，傳統的氣體流量控制器就無法實現，更嚴重的問題是，如果使用傳統的氣體流量控制器去控制帶有溫度和濕度的氣體(比如：60攝氏度90％RH)，不僅不能控制，更會由于低于露點冷凝造成堵塞傳感器，造成對流量控制器的損壞。

目前，針對氣體流量的溫度控制設備形式單一，體積龐大，沒有統一標準，傳統氣體控溫方式往往采用將固定流量的氣體通入一個整體罐體加熱，氣體直接接觸加熱裝置。這種控溫方式不僅僅降溫速度慢，控溫速度不穩定，而且不夠安全，如果涉及到氫氣氧氣等易燃易爆氣體種類這種方式存在極大安全隱患。而針對氣體流量的濕度控制設備，需要加濕的環境中工作，用戶或設備商選擇將定量的氣體通入一個可加熱的純水罐體之中，并攜帶出水蒸氣進行加濕。這種控濕的方式不僅僅氣體濕度不可控，攜帶出水蒸氣的氣體都處于飽和狀態也就是100％RH以上，通常會達到露點造成冷凝，從而無法真實控制輸出的氣體濕度。而且，無法實現對輸出氣體濕度的調節，只能理論計算氣體濕度或根據出口濕度減少加熱溫度。

無論是對氣體溫度的控制還是對氣體濕度的控制，其調節都存在較大的誤差，因此，亟需一種氣體溫度濕度可控的流量控制設備，來滿足人們對氣體的溫濕度要求。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的在于克服現有技術的不足，提供一種氣體溫度濕度可控的流量控制設備，以實現對輸出氣體的流量精確控制的同時還能控制其的溫度和濕度。

為實現以上目的，本發明采用如下技術方案：

一種氣體溫度濕度可控的流量控制設備，包括控制設備本體、控制模塊、加濕調節通道、干燥調節通道、溫度調節裝置、加濕器、干燥器和溫濕度傳感器；

所述加濕調節通道設置有加濕流量傳感器和加濕調節閥，所述干燥調節通道設置有干燥流量傳感器和干燥調節閥；

所述溫濕度傳感器設置于所述控制設備本體上的輸出通道處；

所述加濕調節通道通過所述溫度調節裝置與所述加濕器相連通，所述干燥調節通道通過所述溫度調節裝置與所述干燥器相連通；

所述加濕調節通道穿過所述加濕器與所述控制設備本體上的輸出通道相連通；所述干燥調節通道穿過所述干燥器與所述控制設備本體上的輸出通道相連通；

被控氣體的第一部分通過所述加濕調節通道進入所述溫度調節裝置，得到第一溫調氣體，所述被控氣體的第二部分通過所述干燥調節通道進入所述溫度調節裝置，得到第二溫調氣體；

所述第一溫調氣體流過所述加濕器進行加濕，得到加濕氣體；所述第二溫調氣體流過所述干燥器進行干燥，得到干燥氣體；