[發明專利]載物臺水冷裝置及其故障檢測方法

在審

• 申請號: 201910718100.0
• 申請日: 2019-08-05
• 公開（公告）號: CN112325558A
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: 李言彬;張志強
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: F25D31/00
• 分類號: F25D31/00;F25D17/02;F25D29/00;G01D21/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 傅康

本申請涉及一種載物臺水冷裝置及其故障檢測方法，載物臺水冷裝置包括：水箱、第一管道和第二管道，水箱具有抽水口和回流口，第一管道包括與抽水口連接的抽取管道、位于載物臺內部的冷卻管道以及與水箱的回流口連接的回流管道，第二管道連接于抽取管道和回流管道之間且靠近抽水口和回流口，第一管道與水箱形成制冷循環回路，第二管道與水箱形成測試循環回路；故障檢測方法包括：開通制冷循環回路、關閉測試循環回路，獲取抽水口處的第一流量值和回流管道的第二流量值；關閉制冷循環回路、開通測試循環回路，獲取抽水口處的第三流量值；根據第一流量值、第二流量值、第三流量值和目標流量值判斷故障類型。

技術領域

本發明涉及載物臺的半導體設備領域，尤其涉及一種載物臺水冷裝置和載物臺水冷裝置故障檢測方法。

背景技術

在半導體器件制備工藝中，通常需要將被加工的基片置于專用的載物臺上進行操作，而由于在加工過程中通常會產生熱量，熱量過高將會影響產品良率，因此，一般會配置一套載物臺水冷裝置來控制載物臺的溫度。載物臺水冷裝置是通過管道向載物臺循環輸送制冷液，通過制冷液帶走載物臺部分熱量，從而使載物臺溫度穩定。在載物臺水冷裝置工作過程中，正常情況下，其管道內的制冷液按照設定的目標流量值循環流動。然而，載物臺水冷裝置在長期使用后會產生一些故障，比如，安裝于管道內的流量計檢測到的制冷液的實際流量值會偏離目標流量值，出現流量異常。但是，目前的載物臺水冷裝置只能檢測到流量異常，但是不能識別導致流量異常的具體原因，無法快速排查異常。

發明內容

基于此，本申請針對目前的載物臺水冷裝置在檢測出制冷液流量異常時無法識別導致流量異常的具體原因的技術問題，提出一種新的載物臺水冷裝置和載物臺水冷裝置故障檢測方法。

一種載物臺水冷裝置故障檢測方法，

所述載物臺水冷裝置包括：

水箱、第一管道和第二管道，所述水箱具有抽水口和回流口，所述第一管道包括與所述抽水口連接的抽取管道、位于載物臺內部的冷卻管道以及與所述水箱的回流口連接的回流管道，所述第二管道連接于所述抽取管道和所述回流管道之間且靠近所述抽水口和所述回流口，所述第一管道與所述水箱形成制冷循環回路，所述第二管道與所述水箱形成測試循環回路；

所述故障檢測方法包括：

開通所述制冷循環回路、關閉所述測試循環回路，獲取所述抽水口處的第一流量值和所述回流管道的第二流量值；

關閉所述制冷循環回路、開通所述測試循環回路，獲取所述抽水口處的第三流量值；

比較所述第一流量值、所述第二流量值、所述第三流量值和目標流量值，判定所述載物臺水冷裝置故障類型。

上述載物臺水冷裝置故障檢測方法，在水冷裝置中設有兩條管道，其中，第一管道與水箱構成制冷循環回路，為載物臺散熱，第二管道與水箱則構成測試循環回路。在載物臺水冷裝置正常工作過程中，僅開通制冷循環回路，測試循環回路為關閉狀態，制冷液按照預設的目標流量值在第一管道內循環流動，控制載物臺的溫度。一旦該載物臺水冷裝置流量出現異常，制冷循環回路中的制冷液流量偏小，便可通過開通制冷循環回路并關閉測試循環回路獲取此期間抽水口處的制冷液的第一流量值以及回路管道內的制冷液的第二流量值，通過關閉制冷循環回路并開通測試循環回路獲取此期間抽水口處的制冷液的第三流量值。由于導致流量異常的原因包括水泵動力不足、管道堵塞和管道破裂等，在不同的條件下，上述流量值之間的關系不一樣，通過比較上述第一流量值、第二流量值、第三流量值和目標流量值，便可分析出導致流量異常的原因。

在其中一個實施例中，所述比較所述第一流量值、所述第二流量值、所述第三流量值和目標流量值，判定所述載物臺水冷裝置故障類型，包括：

當第二流量值＜第一流量值＜第三流量值時，則判定所述載物臺水冷裝置故障為管道堵塞；