[發明專利]載物臺水冷裝置及其故障檢測方法

在審

• 申請號: 201910718100.0
• 申請日: 2019-08-05
• 公開（公告）號: CN112325558A
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: 李言彬;張志強
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: F25D31/00
• 分類號: F25D31/00;F25D17/02;F25D29/00;G01D21/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 傅康

1.一種載物臺水冷裝置故障檢測方法，其特征在于，

所述載物臺水冷裝置包括：

水箱、第一管道和第二管道，所述水箱具有抽水口和回流口，所述第一管道包括與所述抽水口連接的抽取管道、位于載物臺內部的冷卻管道以及與所述水箱的回流口連接的回流管道，所述第二管道連接于所述抽取管道和所述回流管道之間且靠近所述抽水口和所述回流口，所述第一管道與所述水箱形成制冷循環回路，所述第二管道與所述水箱形成測試循環回路；

所述故障檢測方法包括：

開通所述制冷循環回路、關閉所述測試循環回路，獲取所述抽水口處的第一流量值和所述回流管道的第二流量值；

關閉所述制冷循環回路、開通所述測試循環回路，獲取所述抽水口處的第三流量值；

比較所述第一流量值、所述第二流量值、所述第三流量值和目標流量值，判定所述載物臺水冷裝置故障類型。

2.如權利要求1所述的故障檢測方法，其特征在于，所述比較所述第一流量值、所述第二流量值、所述第三流量值和目標流量值，判定所述載物臺水冷裝置故障類型，包括：

當第二流量值＜第一流量值＜第三流量值時，則判定所述載物臺水冷裝置故障為管道堵塞；

當第二流量值＜第一流量值＝第三流量值時，則判定所述載物臺水冷裝置故障為管道破裂；

當第三流量值＜目標流量值時，則判定所述載物臺水冷裝置故障為抽取制冷液的動力不足。

3.如權利要求1所述的故障檢測方法，其特征在于，所述方法還包括：

當判定所述載物臺水冷裝置故障為抽取制冷液的動力不足時，則關閉所述制冷循環回路、開通所述測試循環回路，增大抽取制冷液的動力直至新獲取的第三流量值等于目標流量值。

4.如權利要求1所述的故障檢測方法，其特征在于，在所述獲取所述抽水口處的第一流量值和所述回流管道的第二流量值之后，還包括：

比較所述第二流量值和目標流量值；

當第二流量值小于所述目標流量值時，再執行所述關閉所述制冷循環回路、開通所述測試循環回路的步驟。

5.如權利要求1所述的故障檢測方法，其特征在于，

所述載物臺水冷裝置還包括第一至第三閥門，其中，所述第一閥門設置于所述抽取管道上，且所述第二管道與所述抽取管道的連接端位于所述第一閥門與所述抽水口之間，所述第二閥門設置于所述回流管道上，且所述第二管道與所述回流管道的連接端位于所述第二閥門與所述回流口之間，所述第三閥門設置于所述第二管道上；

所述開通所述制冷循環回路、關閉所述測試循環回路，包括：關閉第三閥門，開通第一閥門和第二閥門；

所述關閉所述制冷循環回路、開通所述測試循環回路，包括：打開第三閥門，關閉第一閥門和第二閥門。

6.如權利要求1所述的故障檢測方法，其特征在于，

所述載物臺水冷裝置還包括第一流量計和第二流量計，其中，所述第一流量計設置于所述抽取管道上且靠近所述抽水口，所述第二管道與所述抽取管道的連接端位于所述第一閥門與所述第一流量計之間，所述第二流量計設置于所述回流管道上且靠近所述冷卻管道從所述載物臺內輸出制冷液的出水口處；

所述獲取所述抽水口處的第一流量值和所述回流管道的第二流量值，包括：通過所述第一流量計獲取所述第一流量值，通過所述第二流量計獲取所述第二流量值；

所述獲取所述抽水口處的第三流量值，包括：通過所述第一流量計獲取所述第三流量值。

7.如權利要求1所述的故障檢測方法，其特征在于，所述方法還包括：

檢測所述冷卻管道從所述載物臺內輸出的制冷液的第一溫度值；

根據所述制冷液的第一溫度值調節所述水箱中制冷液的溫度。