[發(fā)明專利]物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動體

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910717650.0
• 申請日: 2019-08-05
• 公開（公告）號: CN110806497A
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 田中悟
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125;G01C19/5656;G01C19/5783
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 紀(jì)秀鳳

1.一種物理量傳感器，其特征在于，具備：

基板；

可動體，相對于所述基板對置以能夠位移的方式設(shè)置，并且設(shè)置有貫通孔；和

突起部，在所述基板的所述可動體側(cè)，與所述基板構(gòu)成為一體，

所述突起部在俯視下設(shè)置在與所述貫通孔以及所述可動體重合的位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

設(shè)所述貫通孔的寬度為W1，所述突起部的寬度為W2時，滿足W1＜W2。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述物理量傳感器具備與所述可動體對置并且設(shè)置在所述基板的電極，

所述突起部由與所述電極同電位的導(dǎo)體層覆蓋。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述導(dǎo)體層與所述電極構(gòu)成為一體。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述導(dǎo)體層由絕緣層覆蓋。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述絕緣層為硅氧化膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述可動體以圍繞搖動中心軸能夠搖動的方式設(shè)置，在俯視下以所述搖動中心軸作為邊界被區(qū)分為第一可動部和第二可動部，

所述電極包括：第一電極，與所述第一可動部對置配置在所述基板上；第二電極，與所述第二可動部對置配置在所述基板上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的物理量傳感器，其特征在于，

在俯視下，所述第二可動部的面積比所述第一可動部的面積大。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述突起部設(shè)置有在所述可動體側(cè)開口的凹部。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述突起部設(shè)置為多個，并且設(shè)置在相對于所述搖動中心軸平行的位置。

11.一種物理量傳感器，其特征在于，具備：

基板；

可動體，相對于所述基板對置以能夠位移的方式設(shè)置，并且設(shè)置有在與所述基板對置的面開口的第一凹部；和

突起部，在所述基板的所述可動體側(cè)，與所述基板構(gòu)成為一體，

所述突起部在俯視下設(shè)置在與所述第一凹部以及所述可動體重合的位置。

12.一種電子設(shè)備，其特征在于，具備：

根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器；和

控制部，基于從所述物理量傳感器輸出的檢測信號進(jìn)行控制。

13.一種移動體，其特征在于，具備：

根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器；和

控制部，基于從所述物理量傳感器輸出的檢測信號進(jìn)行控制。

14.一種電子設(shè)備，其特征在于，具備：

根據(jù)權(quán)利要求11所述的物理量傳感器；和

控制部，基于從所述物理量傳感器輸出的檢測信號進(jìn)行控制。

15.一種移動體，其特征在于，具備：

根據(jù)權(quán)利要求11所述的物理量傳感器；和

控制部，基于從所述物理量傳感器輸出的檢測信號進(jìn)行控制。