[發明專利]物理量傳感器、電子設備以及移動體在審

申請號：	201910717650.0	申請日：	2019-08-05
公開（公告）號：	CN110806497A	公開（公告）日：	2020-02-18
發明（設計）人：	田中悟	申請（專利權）人：	精工愛普生株式會社
主分類號：	G01P15/125	分類號：	G01P15/125;G01C19/5656;G01C19/5783
代理公司：	北京康信知識產權代理有限責任公司 11240	代理人：	紀秀鳳
地址：	日本***	國省代碼：	暫無信息
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摘要：
搜索關鍵詞：	物理量傳感器電子設備以及移動
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【說明書】：

本發明提供了一種物理量傳感器、電子設備以及移動體，通過能夠確保韌性的突起部，能夠抑制可動體和基板的粘附。物理量傳感器(1)具備：基板(2)；可動體，以相對于基板(2)對置并能夠位移的方式設置，設置有作為貫通孔的第一貫通孔(35a)以及第二貫通孔(35b)；突起部(6a)、(6b)，在基板(2)的可動體(32)側，與基板(2)構成為一體，突起部(6a)、(6b)在俯視下設置在與貫通孔以及可動體32重合的位置。

技術領域

本發明涉及物理量傳感器、傳感器器件、電子設備以及移動體。

背景技術

現有，作為檢測加速度或角速度等物理量的物理量傳感器，已知MEMS(MicroElectro Mechanical System，微電機系統)裝置，具備，以能夠搖動的方式被支承的可動體，和與可動體的對置位置上具有間隙而配置的基板。例如，在專利文獻1中記載了一種MEMS裝置，通過使作為可動體的慣性質量與被設置在基板的下部突起部(保護區域)以小面積接觸，抑制慣性質量與基板的粘附。

專利文獻1：美國專利申請公開第2015/0177273號說明書。

然而，在能夠確保韌性的形狀的突起部，由于和慣性質量的接觸面積變寬導致粘附的抑制并不充分，根據使用環境有粘附的風險。

發明內容

本發明的物理量傳感器，其特征在于，具備：基板；可動體，相對于所述基板對置以能夠位移的方式設置，并且設置有貫通孔；和突起部，在所述基板的所述可動體側，與所述基板構成為一體，所述突起部在俯視下設置在與所述貫通孔以及所述可動體重合的位置。

在上述物理量傳感器中，設所述貫通孔的寬度為W1，所述突起部的寬度為W2時，可以設為滿足W1＜W2。

在上述物理量傳感器中，具備與所述可動體對置并且設置在所述基板的電極，所述突起部也可以具有與所述電極同電位的導體層。

在上述物理量傳感器中，所述導體層也可以與所述電極構成為一體。

在上述物理量傳感器中，所述突起部也可以具有設置在相對于所述導體層與所述基板相反側的絕緣層。

在上述物理量傳感器中，所述絕緣層也可以為硅氧化膜。

在上述物理量傳感器中，所述可動體以圍繞搖動中心軸能夠搖動的方式設置，在俯視下以所述搖動中心軸作為邊界被區分為第一可動部與第二可動部，所述電極也可以包括：第一電極，與所述第一可動部對置，配置在所述基板上；第二電極，與所述第二可動部對置，配置在所述基板上。

在上述物理量傳感器中，在俯視下，所述第二可動部的面積可以比所述第一可動部的面積大。

在上述物理量傳感器中，所述突起部也可以設置有在所述可動體側開口的凹部。