[發明專利]一種超細晶鋼EBSD樣品的制備方法在審
| 申請號： | 201910711908.6 | 申請日： | 2019-08-02 |
| 公開（公告）號： | CN110530691A | 公開（公告）日： | 2019-12-03 |
| 發明（設計）人： | 郭生武;孫俊杰;程興瑞 | 申請（專利權）人： | 西安交通大學 |
| 主分類號： | G01N1/28 | 分類號： | G01N1/28;G01N1/32 |
| 代理公司： | 61200 西安通大專利代理有限責任公司 | 代理人： | 高博<國際申請>=<國際公布>=<進入國 |
| 地址： | 710049 *** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拋光 超細晶 制備 成功率 砂紙 離子減薄儀 機械拋光 離子減薄 試樣表面 風干 應力層 標定 切取 制樣 沖洗 打磨 花樣 取出 | ||
【權利要求書】：
1.一種超細晶鋼EBSD樣品的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
S1、切取試樣，然后采用砂紙將試樣打磨至30～40μm，然后進行機械拋光；
S2、將拋光后的試樣進行沖洗并風干處理；
S3、采用用離子減薄儀取出拋光后試樣表面的應力層，經離子減薄得到超細晶鋼EBSD樣品。
2.根據權利要求1所述的超細晶鋼EBSD樣品的制備方法，其特征在于，步驟S1中，采用電火花線切割切取厚度0.3～0.5mm的試樣。
3.根據權利要求2所述的超細晶鋼EBSD樣品的制備方法，其特征在于，依次采用100、200、500、1000和2000目的砂紙進行打磨。
4.根據權利要求1所述的超細晶鋼EBSD樣品的制備方法，其特征在于，步驟S2中，將拋光后的試樣放到丙酮中清洗3～5次，再用乙醇進行沖洗2～3min。
5.根據權利要求1所述的超細晶鋼EBSD樣品的制備方法，其特征在于，步驟S3中，在拋光并清洗后的樣品上切取直徑3～4mm的圓片，然后將圓片在離子減薄儀上進行離子減薄。
6.根據權利要求5所述的超細晶鋼EBSD樣品的制備方法，其特征在于，離子減薄儀減薄電流為15～20μA，減薄時間30～50min。
7.根據權利要求1至6中任一項所述的超細晶鋼EBSD樣品的制備方法，其特征在于，制備的EBSD花樣標定成功率大于等于90％。
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