[發(fā)明專利]一種具有喇叭狀孔隙結(jié)構(gòu)的氧化鎢薄膜及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910705383.5
• 申請(qǐng)日: 2019-08-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110467357B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 任洋;賀海燕;趙高揚(yáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安理工大學(xué)
• 主分類號(hào): C03C17/25
• 分類號(hào): C03C17/25
• 代理公司: 西安弘理專利事務(wù)所 61214
• 代理人: 杜娟

1.一種具有喇叭狀孔隙結(jié)構(gòu)的氧化鎢薄膜的制備方法，其特征在于，具體步驟如下：

步驟1，配制氧化鎢溶膠；

將六氯化鎢與無(wú)水乙醇混合，室溫?cái)嚢柚疗淙芙猓偌尤敫叻悬c(diǎn)有機(jī)物，常溫?cái)嚢柚脸吻逋该鳎吹醚趸u溶膠；

步驟2，提拉制備凝膠薄膜；

將獲得的氧化鎢溶膠通過(guò)浸漬提拉法在導(dǎo)電玻璃基板上制備凝膠薄膜；

步驟3，將覆有氧化鎢凝膠膜的導(dǎo)電玻璃基板樣品放置于敞開(kāi)的加熱板上，進(jìn)行熱處理，熱處理后將樣品從加熱板上取出，風(fēng)冷，即得。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有喇叭狀孔隙結(jié)構(gòu)的氧化鎢薄膜的制備方法，其特征在于，步驟1中，所述高沸點(diǎn)有機(jī)物為丙三醇或聚乙二醇200。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種具有喇叭狀孔隙結(jié)構(gòu)的氧化鎢薄膜的制備方法，其特征在于，步驟1中，鎢原子與乙醇的摩爾比為1：17～34；所述高沸點(diǎn)有機(jī)物為聚乙二醇200時(shí)，聚乙二醇200與鎢原子的摩爾比為0.05～0.2:1；所述高沸點(diǎn)有機(jī)物為丙三醇時(shí)，丙三醇和鎢原子的摩爾比為0.25～0.33:1。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有喇叭狀孔隙結(jié)構(gòu)的氧化鎢薄膜的制備方法，其特征在于，步驟3中，熱處理的工藝條件為：敞開(kāi)式加熱板加熱，加熱板設(shè)定溫度為300～400℃，熱處理時(shí)間為10～20分鐘，采用大氣環(huán)境。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有喇叭狀孔隙結(jié)構(gòu)的氧化鎢薄膜的制備方法，其特征在于，步驟3中，最后制備得到的氧化鎢薄膜的結(jié)構(gòu)為：疏松多孔的氧化鎢薄膜，氧化鎢薄膜上孔隙的形狀為喇叭狀，孔隙的喇叭開(kāi)口直徑為0.3微米～1.2微米，孔隙的喇叭收縮口直徑為80納米～750納米。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種具有喇叭狀孔隙結(jié)構(gòu)的氧化鎢薄膜的制備方法，其特征在于，所述孔隙的深度為150納米～300納米。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種具有喇叭狀孔隙結(jié)構(gòu)的氧化鎢薄膜的制備方法，其特征在于，所述氧化鎢薄膜的薄膜厚度為300納米～400納米。