[發明專利]光合波器的制造裝置

有效

• 申請號: 201910704865.9
• 申請日: 2016-03-01
• 公開（公告）號: CN110308564B
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發明（設計）人: 小寺秀和;下野真也
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G02B6/293
• 分類號: G02B6/293
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 李今子

本發明公開光合波器的制造裝置。光合波器的制造裝置中，光合波器具備：基底，具有相互平行的第一主面及第二主面；反射鏡，設置于第一主面；以及光學濾光器，設置于第二主面，所述制造裝置具備：工件設置部，用于進行光合波器的裝配作業；光束照射式角度測定部，向工件設置部的基準面照射光束，測定基準面的角度θa，向反射鏡照射光束，測定反射鏡的角度θb，向基底的第二主面照射光束，測定第二主面的角度θc，向光學濾光器照射光束，測定光學濾光器的角度θd；角度調整部，調整反射鏡的角度以使角度θb與角度θa一致，調整光學濾光器的角度以使角度θc與角度θd一致；以及部件固定部，將反射鏡及光學濾光器固定到基底。

本申請是申請號為201680009842.0，申請日為2016年3月1日，發明名稱為“光合波器的制造方法以及制造裝置”的分案申請。

技術領域

本發明涉及例如在集成型光模塊等中使用的光合波器的制造方法以及制造裝置。

背景技術

近年來，光網絡的通信業務量增大，要求具有高的通信容量、更小型且低功耗的光模塊。為了實現小型化以及低功耗化，正在推進光模塊的集成化。例如，在下述專利文獻1中，公開了在一個封裝內使用透鏡將四個波長不同的光元件和光合波器光學地耦合的光集成模塊。在該光集成模塊中，需要以使各光元件之間的光損耗偏差變小的方式，將來自四個光元件的發光安裝到光合波器。

作為其對策，在下述專利文獻2中，提出了如下方法：在透鏡與光合波器之間，配置非線性光學元件等光線方向變化部，從外部發送操作用的電信號，從而使通過的信號光的光線方向針對每個波長變化，減小各光元件之間的光損耗偏差。但是，在該方法中，需要非線性光學元件，所以成本變高，并且難以實現小型化。另外，需要從外部發送電信號，從而存在作為模塊的功耗也變大這樣的問題。

在光集成模塊中，需要高精度地裝配承擔光合波功能的光合波器，設定為使從多個光元件發出的光聚光到一點。

作為其對策，在下述專利文獻3中，在透明塊中植入濾光器層。但是，在設置具有不同特性的多個濾光器層的情況下，存在制造成本變高這樣的問題。

現有技術文獻

專利文獻1：美國專利申請公開第2011/0013869號說明書(圖1)

專利文獻2：日本特開2010-175875號公報(圖1)

專利文獻3：日本特開2002-40283號公報(圖6)

發明內容

本發明的目的在于提供一種光合波器的制造方法以及制造裝置，能夠高精度地裝配承擔光合波功能的光合波器。

為了達成上述目的，本發明提供一種光合波器的制造方法，所述光合波器具備：

基底，具有相互平行的第一主面及第二主面；

反射鏡，設置于第一主面；以及

光學濾光器，設置于第二主面，

其特征在于，所述制造方法包括：

在基底的第一主面載置反射鏡，在使用自動準直儀進行該基底與該反射鏡之間的角度調整之后，將該反射鏡固定到該基底的步驟；以及

在基底的第二主面載置光學濾光器，在使用自動準直儀進行該基底與該光學濾光器之間的角度調整之后，將該光學濾光器固定到該基底的步驟。

另外，本發明提供一種光合波器的制造方法，所述光合波器具備：

基底，具有相互平行的第一主面及第二主面；

反射鏡，設置于第一主面；以及

光學濾光器，設置于第二主面，

其特征在于，所述制造方法包括：