[發明專利]光合波器的制造裝置

有效

• 申請號: 201910704865.9
• 申請日: 2016-03-01
• 公開（公告）號: CN110308564B
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發明（設計）人: 小寺秀和;下野真也
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G02B6/293
• 分類號: G02B6/293
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 李今子

1.一種光合波器的制造裝置，所述光合波器具備：

基底，具有相互平行的第一主面及第二主面；

反射鏡，設置于第一主面；以及

光學濾光器，設置于第二主面，

其特征在于，所述制造裝置具備：

工件設置部，用于進行光合波器的裝配作業；

光束照射式角度測定部，向所述工件設置部的基準面照射光束，測量在該基準面反射的光束的反射方向來測定該基準面的角度θa，向該反射鏡照射光束，測量在該反射鏡反射的光束的反射方向來測定該反射鏡的角度θb，向所述基底的第二主面照射光束，測量在該第二主面反射的光束的反射方向來測定該第二主面的角度θc，向所述光學濾光器照射光束，測量在所述光學濾光器反射的光束的反射方向來測定所述光學濾光器的角度θd；

角度調整部，調整所述反射鏡的角度以使角度θb與角度θa一致，調整所述光學濾光器的角度以使角度θd與角度θc一致；以及

部件固定部，將所述反射鏡及所述光學濾光器固定到所述基底。

2.根據權利要求1所述的光合波器的制造裝置，其特征在于，

還具備光束位置測定部，該光束位置測定部使試驗用光束入射到所得到的光合波器，并測定從該光合波器射出的光束的位置。

3.根據權利要求1或2所述的光合波器的制造裝置，其特征在于，

在所述工件設置部形成有避讓空間以避免與所述反射鏡接觸。