[發(fā)明專利]一種機(jī)械手交接工位標(biāo)定方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910702431.5
• 申請(qǐng)日: 2019-07-31
• 公開（公告）號(hào): CN112296997B
• 公開（公告）日: 2022-01-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周文賢;向軍;鄭教增;姜杰;朱正平;龐飛;郝鳳龍;牛增欣
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司
• 主分類號(hào): B25J9/16
• 分類號(hào): B25J9/16;G03F7/20
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種機(jī)械手交接工位標(biāo)定方法，其特征在于，機(jī)械手包括第一標(biāo)定部，工件臺(tái)包括與所述第一標(biāo)定部對(duì)應(yīng)的第二標(biāo)定部，所述第二標(biāo)定部具有“V”形槽，所述“V”形槽的內(nèi)壁包括兩側(cè)的第一內(nèi)壁和第二內(nèi)壁，所述機(jī)械手交接工位標(biāo)定方法包括：

在通過控制所述機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)所述第一標(biāo)定部與所述“V”形槽的所述第一內(nèi)壁發(fā)生第n-1次碰撞后，控制所述機(jī)械手以第一步進(jìn)方向以及第一步進(jìn)距離進(jìn)行步進(jìn)，并控制所述機(jī)械手沿碰撞方向運(yùn)動(dòng)至所述第一標(biāo)定部與所述“V”形槽的內(nèi)壁發(fā)生第n次碰撞，其中，所述第一步進(jìn)方向?yàn)樗龅谝粌?nèi)壁指向所述第二內(nèi)壁的方向，所述碰撞方向垂直于所述第一步進(jìn)方向，n≥2；

判斷第n-1次碰撞的碰撞點(diǎn)和第n次碰撞的碰撞點(diǎn)是否位于所述“V”形槽同一側(cè)的內(nèi)壁上；

若所述第一標(biāo)定部與所述“V”形槽第n次碰撞的碰撞點(diǎn)和所述第一標(biāo)定部與所述“V”形槽第n-1次碰撞的碰撞點(diǎn)，位于所述“V”形槽同一側(cè)的內(nèi)壁上，則控制所述機(jī)械手以所述第一步進(jìn)方向以及所述第一步進(jìn)距離進(jìn)行步進(jìn)，并控制所述機(jī)械手沿所述碰撞方向運(yùn)動(dòng)至所述第一標(biāo)定部與所述“V”形槽的內(nèi)壁發(fā)生第n+1次碰撞；

若所述第一標(biāo)定部與所述“V”形槽第n次碰撞的碰撞點(diǎn)和所述第一標(biāo)定部與所述“V”形槽第n-1次碰撞的碰撞點(diǎn)，位于所述“V”形槽不同側(cè)的內(nèi)壁上，則控制所述機(jī)械手以第二步進(jìn)方向以及第二步進(jìn)距離進(jìn)行步進(jìn)，并控制所述機(jī)械手沿所述碰撞方向運(yùn)動(dòng)至所述第一標(biāo)定部與所述“V”形槽的內(nèi)壁發(fā)生第n+1次碰撞，其中，所述第二步進(jìn)方向與所述第一步進(jìn)方向相反，所述第二步進(jìn)距離小于所述第一步進(jìn)距離；

所述機(jī)械手交接工位標(biāo)定方法還包括：

在所述第一標(biāo)定部每次與所述“V”形槽發(fā)生碰撞時(shí)，判斷是否滿足工位標(biāo)定指標(biāo)，若不滿足所述工位標(biāo)定指標(biāo)，則繼續(xù)執(zhí)行所述第一標(biāo)定部與所述“V”形槽的碰撞操作，直至滿足所述工位標(biāo)定指標(biāo)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手交接工位標(biāo)定方法，其特征在于，所述第二步進(jìn)距離為所述第一步進(jìn)距離的一半。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手交接工位標(biāo)定方法，其特征在于，所述判斷是否滿足工位標(biāo)定指標(biāo)，包括：

確定所述第一標(biāo)定部與所述“V”形槽的碰撞次數(shù)；

在確定所述碰撞次數(shù)達(dá)到預(yù)設(shè)次數(shù)時(shí)，確定滿足工位標(biāo)定指標(biāo)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手交接工位標(biāo)定方法，其特征在于，在所述第一標(biāo)定部每次與所述“V”形槽發(fā)生碰撞后，還包括：

控制所述機(jī)械手沿所述碰撞方向回退預(yù)設(shè)距離。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手交接工位標(biāo)定方法，其特征在于，所述判斷第n-1次碰撞的碰撞點(diǎn)和第n次碰撞的碰撞點(diǎn)是否位于所述“V”形槽同一側(cè)的內(nèi)壁上，包括：

基于光源在四象限傳感器上形成的光斑的坐標(biāo)信息，確定所述碰撞點(diǎn)位于所述“V”形槽的第一內(nèi)壁或第二內(nèi)壁；其中，

所述機(jī)械手包括機(jī)械臂、檢測機(jī)構(gòu)和執(zhí)行器，所述第一標(biāo)定部設(shè)置于所述執(zhí)行器上，所述執(zhí)行器與所述機(jī)械臂通過檢測機(jī)構(gòu)連接；

所述檢測機(jī)構(gòu)包括光源、四象限傳感器和遮光部，所述遮光部上設(shè)置有一通孔，所述光源與所述四象限傳感器相對(duì)固定設(shè)置，所述遮光部設(shè)置于所述光源與所述四象限傳感器之間，所述遮光部與所述執(zhí)行器連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的機(jī)械手交接工位標(biāo)定方法，其特征在于，所述基于光源在四象限傳感器上形成的光斑的坐標(biāo)信息，確定所述碰撞點(diǎn)位于所述“V”形槽的第一內(nèi)壁或第二內(nèi)壁，包括：

若所述光斑位于所述四象限傳感器的第一象限或第四象限，則確定所述碰撞點(diǎn)位于所述“V”形槽的第一內(nèi)壁；

若所述光斑位于所述四象限傳感器的第二象限或第三象限，則確定所述碰撞點(diǎn)位于所述“V”形槽的第二內(nèi)壁。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的機(jī)械手交接工位標(biāo)定方法，其特征在于，所述機(jī)械手以第一步進(jìn)方向進(jìn)行步進(jìn)的初始步進(jìn)距離為1mm，所述預(yù)設(shè)次數(shù)為9次。