[發明專利]用于被動元件的表面處理工藝的治具有效
| 申請號: | 201910698975.9 | 申請日: | 2019-07-31 |
| 公開(公告)號: | CN112301330B | 公開(公告)日: | 2022-12-27 |
| 發明(設計)人: | 丁肇誠 | 申請(專利權)人: | 抱樸科技股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/458 | 分類號: | C23C16/458 |
| 代理公司: | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人: | 王玉雙;張燕華 |
| 地址: | 中國臺灣臺北市*** | 國省代碼: | 臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 被動 元件 表面 處理 工藝 | ||
1.一種用于被動元件的表面處理工藝的治具,其特征在于,包括:
一承載板,其表面上形成有多個通風孔;
多個突起件,形成于所述承載板之上,且彼此相鄰的任兩個所述突起件之間具有不同高度;
多個側板,垂直地設于所述承載板的周邊,且各個所述側板具有多個通風槽孔;
多個第一結合件,其中,各個所述第一結合件設于各個所述側板的一第一側邊;以及
多個第二結合件,其中,各個所述第二結合件設于各個所述側板的一第二側邊,且所述第二側邊與所述第一側邊為所述側板的兩相對邊;
其中,各個所述突起件皆具有至少一個抵頂點,且彼此相鄰的任兩個所述突起件之間具有一間距,且所述間距小于一個表面黏著型被動元件的寬度,各個所述突起件以其所述抵頂點抵住所述表面黏著型被動元件;
其中,各個所述通風孔的孔徑皆小于所述表面黏著型被動元件的寬度;
其中,將一個所述治具所具有的各個所述第一結合件與另一個所述治具所具有的各個所述第二結合件互相結合,使得兩個所述治具相互堆疊。
2.根據權利要求1所述的治具,其特征在于,所述第一結合件與所述第二結合件分別為一結合孔與一嵌合柱。
3.根據權利要求1所述的治具,其特征在于,所述突起件為下列任一者:錐體、圓柱體、半球體、具圓頂的柱體。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





