[發明專利]適用于LGA模封產品的烘烤壓制器在審
| 申請號: | 201910698960.2 | 申請日: | 2019-07-31 |
| 公開(公告)號: | CN110379744A | 公開(公告)日: | 2019-10-25 |
| 發明(設計)人: | 郭科峰;栗甲婿 | 申請(專利權)人: | 沛頓科技(深圳)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;B29C53/18;B29C53/84 |
| 代理公司: | 東莞市中正知識產權事務所(普通合伙) 44231 | 代理人: | 徐康 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市福*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 烘烤 模封 大板 壓制器 放入 治具 鋼化玻璃 彈匣 烘烤過程 樹脂材料 頂絲帽 烘烤爐 樹脂 彈簧 堆疊 基板 氣缸 翹曲 鎖緊 鐵塊 下壓 替換 擺放 玻璃 | ||
1.適用于LGA模封產品的烘烤壓制器,其特征在于:包括適用于烘烤使用的治具,所述治具包括治具框、頂絲帽、彈簧鐵塊、氣缸以及鋼化玻璃組成;所述氣缸安裝在治具上方;所述鋼化玻璃放置在治具框內;所述彈簧鐵塊為活動安裝,頂絲帽安裝在彈簧鐵塊兩側,并套接在治具框內;所述烘烤壓制器包括一種烘烤壓制方法,其特征為:
將LGA模封產品放置在鋼化玻璃上,排列結構為鋼化玻璃-LGA模封后產品-鋼化玻璃-LGA模封后產品,按此順序循環疊放;通過氣缸的壓力將彈簧鐵塊下壓,再將兩端的頂絲帽鎖緊,放入烘烤爐內烘烤,設置烘烤溫度為175度,烘烤時間為7小時,最終烘烤后的產品翹曲和LGA模封產品的翹曲相同。
2.根據權利要求1所述的適用于LGA模封產品的烘烤壓制器,其特征在于:所述LGA模封產品為基板和樹脂構成的假片。
3.根據權利要求1所述的適用于LGA模封產品的烘烤壓制器,其特征在于:所述治具框為不銹鋼材質。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于沛頓科技(深圳)有限公司,未經沛頓科技(深圳)有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201910698960.2/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





