[發明專利]適用于LGA模封產品的烘烤壓制器

在審

• 申請號: 201910698960.2
• 申請日: 2019-07-31
• 公開（公告）號: CN110379744A
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 郭科峰;栗甲婿
• 申請（專利權）人: 沛頓科技（深圳）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B29C53/18;B29C53/84
• 代理公司: 東莞市中正知識產權事務所(普通合伙) 44231
• 代理人: 徐康

本發明公開了適用于LGA模封產品的烘烤壓制器，將模封后烘烤使用的彈匣替換成帶玻璃的治具，烘烤前將大板與鋼化玻璃有序放入治具內，利用氣缸的壓力將彈簧鐵塊下壓，再將兩端的頂絲帽鎖緊，放入烘烤爐內烘烤；其中，用于模封的產品，其基板在下，樹脂材料在上堆疊的方式進行擺放；本發明所述方案烘烤過程中，大板內的樹脂排列不會產生變化，使大板的翹曲不變。

技術領域

本發明涉及適用于LGA模封產品的烘烤壓制器。

背景技術

對于LGA產品，客戶對大板翹曲要求特別高（哭臉形態3毫米以下且不能有笑臉形態出現），模封后產品的翹曲滿足客戶要求，但模封后放入彈匣內在175℃的爐子內烘烤七個小時，大板翹曲會變為笑臉形態，不能被客戶接受，模封后產品的翹曲不滿足客戶要求，但模封后放入彈匣內在175℃的爐子內烘烤七個小時，大板翹曲會變化，哭臉形態3毫米，則能被客戶接受，模封后的翹曲和烘烤后的翹曲變化是因為樹脂在烘烤時，受重力的作用下，內部的分子鏈排列發生變化導致。

在新產品開發階段：選用不同收縮率的基板與不同收縮率樹脂來生產假片，然后完成模封后放入彈匣內烘烤七個小時，測量翹曲，選取最優的一組翹曲組合，最終確定選用何種基板與樹脂，過程耗費時間。

量產時，模封后的產品測量翹曲已無意義，只能對烘烤后的大板監控翹曲，如果模封時工藝參數有異常造成烘烤后翹曲超標，模封后不能及時發現，會造成大量產品翹曲超標異常。

發明內容

針對背景技術所提到的問題，本發明要解決的技術問題是提供適用于LGA模封產品的烘烤壓制器，通過對地圖的糾錯發現地圖匹配錯誤，從而降低不良芯片的發生，提高晶圓封裝良品率。

本發明的適用于LGA模封產品的烘烤壓制器，包括適用于烘烤使用的治具，所述治具包括治具框、頂絲帽、彈簧鐵塊、氣缸以及鋼化玻璃組成；所述氣缸安裝在治具上方；所述鋼化玻璃放置在治具框內；所述彈簧鐵塊為活動安裝，頂絲帽安裝在彈簧鐵塊兩側，并套接在治具框內；所述烘烤壓制器包括一種烘烤壓制方法，其特征為：

將LGA模封產品放置在鋼化玻璃上，排列結構為鋼化玻璃-LGA模封后產品-鋼化玻璃-LGA模封后產品，按此順序循環疊放；通過氣缸的壓力將彈簧鐵塊下壓，再將兩端的頂絲帽鎖緊，放入烘烤爐內烘烤，設置烘烤溫度為175度，烘烤時間為7小時，最終烘烤后的產品翹曲和LGA模封產品的翹曲相同。

其中，所述LGA模封產品為基板和樹脂構成的假片。

作為優選，所述治具框為不銹鋼材質。

本發明的優點：

1. 優化流程，模封后大板翹曲即為烘烤后大板翹曲，只需確定模封后大板的翹曲即可確定所使用材料；

2.在模封后即可監控大板翹曲，有異常可以及時發現，不會造成批次性異常；

3.烘烤治具，成本低，使用壽命長，每套的使用壽命在五年以上。

附圖說明

為了易于說明，本發明由下述的具體實施及附圖作以詳細描述。

圖1為治具結構圖。

圖2為翹曲過大假片示意圖。

圖3為翹曲正常假片示意圖。

具體實施方式

如圖1所示，適用于LGA模封產品的烘烤壓制器，包括適用于烘烤使用的治具，所述治具包括治具框4、頂絲帽6、彈簧鐵塊5、氣缸7以及鋼化玻璃3組成；所述氣缸7安裝在治具上方；所述鋼化玻璃3放置在治具框4內；所述彈簧鐵塊5為活動安裝，頂絲帽6安裝在彈簧鐵塊5兩側，并套接在治具框4內；所述烘烤壓制器包括一種烘烤壓制方法，其特征為：