[發(fā)明專利]一種微型發(fā)光二極管陣列顯示背板及其制造方法

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• 申請日: 2019-07-29
• 公開（公告）號: CN110444547A
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃安;高威;朱充沛;張有為;張惟誠
• 申請（專利權(quán)）人: 南京中電熊貓平板顯示科技有限公司;南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司;南京華東電子信息科技股份有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L21/77
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種微型發(fā)光二極管陣列顯示背板，其特征在于，包括：

顯示背板襯底；

位于顯示背板襯底上且呈陣列排布的多條底部電極；

位于底部電極上的金屬固化轉(zhuǎn)移層；

以及位于金屬固化轉(zhuǎn)移層內(nèi)的微型發(fā)光二極管。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微型發(fā)光二極管，其特征在于，所述微型發(fā)光二極管從上至下包括：N型摻雜半導(dǎo)體、多層量子阱、P型摻雜半導(dǎo)體以及金屬電極。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微型發(fā)光二極管，其特征在于，所述微型發(fā)光二極管還包括位于金屬電極下的金屬固化層。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的微型發(fā)光二極管，其特征在于，所述金屬固化轉(zhuǎn)移層的高度不超過多層量子阱的高度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微型發(fā)光二極管，其特征在于，所述金屬固化轉(zhuǎn)移層的熔點(diǎn)低于底部電極的熔點(diǎn)，所述金屬固化轉(zhuǎn)移層為單質(zhì)金屬或合金。

6.一種微型發(fā)光二極管陣列顯示背板的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：在顯示背板襯底上形成陣列排布的多條底部電極；

S2：在底部電極上形成金屬固化轉(zhuǎn)移層；

S3：采用轉(zhuǎn)移吸頭將微型發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移并固定在金屬固化轉(zhuǎn)移層上；

S4：分離轉(zhuǎn)移吸頭與微型發(fā)光二極管。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的微型發(fā)光二極管陣列顯示背板的制造方法，其特征在于，所述步驟S2具體包括以下步驟：

S21：在步驟S1的基礎(chǔ)上進(jìn)行涂膠、曝光和顯影，在顯示背板襯底上形成位于相鄰底部電極之間的第一光阻；

S22：在上述步驟S21的基礎(chǔ)上采用鍍膜方式形成一層金屬固化轉(zhuǎn)移層；

S23：在上述步驟S22的基礎(chǔ)上采用剝離工藝除去第一光阻以及位于第一光阻上的金屬固化轉(zhuǎn)移層。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的微型發(fā)光二極管陣列顯示背板的制造方法，其特征在于，所述步驟S3具體包括以下步驟：

S31：微型發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移至金屬固化轉(zhuǎn)移層上并使微型發(fā)光二極管與金屬固化轉(zhuǎn)移層緊密貼合；

S32：轉(zhuǎn)移吸頭和微型發(fā)光二極管陣列顯示背板加熱至金屬固化轉(zhuǎn)移層熔融；

S33：轉(zhuǎn)移吸頭將微型發(fā)光二極管壓入金屬固化轉(zhuǎn)移層內(nèi)；

S34：微型發(fā)光二極管陣列顯示背板的溫度降至室溫使微型發(fā)光二極管固定在金屬固化轉(zhuǎn)移層上。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的微型發(fā)光二極管陣列顯示背板的制造方法，其特征在于，所述微型發(fā)光二極管底部還包括一層金屬固化層。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的微型發(fā)光二極管陣列顯示背板的制造方法，其特征在于，所述步驟S3具體包括以下步驟：

S31：微型發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移至金屬固化轉(zhuǎn)移層上并使微型發(fā)光二極管與金屬固化轉(zhuǎn)移層緊密貼合；

S32：轉(zhuǎn)移吸頭和微型發(fā)光二極管陣列顯示背板加熱至金屬固化轉(zhuǎn)移層和金屬固化層熔融；

S33：轉(zhuǎn)移吸頭將微型發(fā)光二極管壓入金屬固化轉(zhuǎn)移層內(nèi)；

S34：微型發(fā)光二極管陣列顯示背板的溫度降至室溫使微型發(fā)光二極管固定在金屬固化轉(zhuǎn)移層上。