[發(fā)明專利]氣浮平臺及自動光學(xué)檢查設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910687517.5
• 申請日: 2019-07-29
• 公開（公告）號: CN110487512A
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 方杰
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02;G02F1/13
• 代理公司: 44300 深圳翼盛智成知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 黃威<國際申請>=<國際公布>=<進入國

一種氣浮平臺，包括相鄰排列的多個氣浮機構(gòu)。每一氣浮機構(gòu)包括基座、設(shè)于所述基座內(nèi)的吹氣裝置，及包括氣流生成模塊及連接于氣流生成模塊的多個吹氣管。氣浮板設(shè)于基座上，包括氣浮面、設(shè)于氣浮面周圍的側(cè)壁，及連通多個吹氣管的多個吹氣孔。側(cè)壁與氣浮面之間具有角邊部，其一端連接氣浮面，另一端連接側(cè)壁，且角邊部朝氣浮面與側(cè)壁之間內(nèi)凹設(shè)置。所述角邊部可以減少接受光學(xué)檢測的基板，因為高低差引發(fā)的背刮風(fēng)險，進而提升檢測效果。

【技術(shù)領(lǐng)域】

本申請涉及顯示面板制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種氣浮平臺及自動光學(xué)檢查設(shè)備。

【背景技術(shù)】

顯示面板，例如薄膜晶體管液晶顯示器的玻璃基板是經(jīng)過復(fù)雜的工藝流程制造，基板上的線路容易形成斷路和短路現(xiàn)象。若可以檢測出基板上線路的斷路和短路，則可將基板進行維修，進而提高產(chǎn)品的良率。

具體地，光阻材料涂布于基板經(jīng)過曝光、顯影后，會進入自動光學(xué)檢查機(automated optical inspection,AOI)進行微觀缺陷的檢查。通常AOI的檢查，可配合多種玻璃基板的承載與運輸，而現(xiàn)今廣為使用的承載與運輸是通過氣浮平臺。使用氣浮方式進行運送，可以獲得更高精度的檢查，并實現(xiàn)了非接觸傳輸，減輕了大尺寸玻璃基板的變形和應(yīng)力。傳統(tǒng)的氣浮平臺的運輸方式是由多個對齊排列的氣浮平臺組成一個輸送平臺，用以進行大量面板的輸送及檢測。現(xiàn)有的氣浮平臺包括氣浮板，亦即，所述輸送平臺包括多個對齊排列的氣浮板。然而，傳統(tǒng)的氣浮板的邊緣都設(shè)計為直角結(jié)構(gòu)，由于直角的邊緣，相鄰氣浮板的高度難以調(diào)整一致。此外，在光學(xué)檢測的掃描過程中，玻璃基板與氣浮板之間的間距極低，由于氣浮板的邊緣為直角結(jié)構(gòu)，因此很容易在邊緣位置發(fā)生微小的形變(banding)，并產(chǎn)生背刮的問題，影響玻璃基板的品質(zhì)、降低顯示面板的顯示效果，且會提高破片的風(fēng)險。

【發(fā)明內(nèi)容】

本申請的目的在于提供一種氣浮平臺及自動光學(xué)檢測設(shè)備，其可避免玻璃基板在自動光學(xué)檢測的掃描過程中，因為氣浮板結(jié)構(gòu)而造成玻璃基板的邊緣形變及背刮發(fā)生。

為實現(xiàn)上述目的，本申請?zhí)峁┮环N氣浮平臺，包括相鄰排列的多個氣浮機構(gòu)，其特征在于，每一所述氣浮機構(gòu)包括：基座；吹氣裝置，設(shè)于所述基座內(nèi)，并包括氣流生成模塊及連接于所述氣流生成模塊的多個吹氣管；以及氣浮板，設(shè)于所述基座上，包括氣浮面、設(shè)于所述氣浮面周圍的側(cè)壁，及連通所述多個吹氣管的多個吹氣孔，其中所述側(cè)壁與所述氣浮面之間具有角邊部，其一端連接所述氣浮面，另一端連接所述側(cè)壁，且所述角邊部朝所述氣浮面與所述側(cè)壁之間內(nèi)凹設(shè)置。

依據(jù)本申請的一實施例，所述角邊部包括弧邊。

依據(jù)本申請的另一實施例，所述弧邊于所述側(cè)壁及所述氣浮面之間構(gòu)成60度的圓弧角。

依據(jù)本申請的另一實施例，所述角邊部包括斜邊，且所述斜邊與所述氣浮面的水平方向具有小于或等于60度的夾角。

依據(jù)本申請的另一實施例，所述氣浮板具有矩形構(gòu)型，所述角邊部沿繞所述矩形氣浮板的四個側(cè)壁設(shè)置。

依據(jù)本申請的另一實施例，所述多個吹氣孔貫穿所述氣浮面，所述氣流生成模塊用以產(chǎn)生氣流，其依序通過所述多個吹氣管及所述多個吹氣孔朝上吹出，其中所述多個吹氣孔吹出的氣流用以懸浮所述基板。

依據(jù)本申請的另一實施例，所述氣浮平臺更包括至少一對輥軸，其分別設(shè)于所述基座的相對二側(cè)外，其中所述一對輥軸用以承托所述基板至所述氣浮板的上方，并于所述基板懸浮后下移至所述氣浮板的下方。

依據(jù)本申請的另一實施例，所述氣浮平臺更包括軌道裝置，其設(shè)于所述基座的相對二側(cè)，其中所述氣浮板可移動地連接于所述軌道裝置。

依據(jù)本申請的另一實施例，所述相鄰排列的多個氣浮機構(gòu)的氣浮面為相互齊平設(shè)置。

本申請另外提供一種自動光學(xué)檢查設(shè)備，包括自動光學(xué)檢查機及前述實施例的氣浮平臺。