[發(fā)明專利]氣浮平臺及自動光學(xué)檢查設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910687517.5
• 申請日: 2019-07-29
• 公開（公告）號: CN110487512A
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 方杰
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02;G02F1/13
• 代理公司: 44300 深圳翼盛智成知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 黃威<國際申請>=<國際公布>=<進(jìn)入國

1.一種氣浮平臺，包括相鄰排列的多個氣浮機(jī)構(gòu)，其特征在于，每一所述氣浮機(jī)構(gòu)包括：

基座；

吹氣裝置，設(shè)于所述基座內(nèi)，并包括氣流生成模塊及連接于所述氣流生成模塊的多個吹氣管；以及

氣浮板，設(shè)于所述基座上，包括氣浮面、設(shè)于所述氣浮面周圍的側(cè)壁，及連通所述多個吹氣管的多個吹氣孔，其中所述側(cè)壁與所述氣浮面之間具有角邊部，其一端連接所述氣浮面，另一端連接所述側(cè)壁，且所述角邊部朝所述氣浮面與所述側(cè)壁之間內(nèi)凹設(shè)置。

2.如權(quán)利要求1的氣浮平臺，其特征在于，所述角邊部包括弧邊。

3.如權(quán)利要求2的氣浮平臺，其特征在于，所述弧邊于所述側(cè)壁及所述氣浮面之間構(gòu)成60度的圓弧角。

4.如權(quán)利要求1的氣浮平臺，其特征在于，所述角邊部包括斜邊，

且所述斜邊與所述氣浮面的水平方向具有小于或等于60度的夾角。

5.如權(quán)利要求1的氣浮平臺，其特征在于，所述氣浮板具有矩形構(gòu)型，所述角邊部沿繞所述矩形氣浮板的四個側(cè)壁設(shè)置。

6.如權(quán)利要求1的氣浮平臺，其特征在于，所述多個吹氣孔貫穿所述氣浮面，所述氣流生成模塊用以產(chǎn)生氣流，其依序通過所述多個吹氣管及所述多個吹氣孔朝上吹出，其中所述多個吹氣孔吹出的氣流用以懸浮所述基板。

7.如權(quán)利要求6的氣浮平臺，其特征在于，更包括至少一對輥軸，

其分別設(shè)于所述基座的相對二側(cè)外，其中所述一對輥軸用以承托所述基板至所述氣浮板的上方，并于所述基板懸浮后下移至所述氣浮板的下方。

8.如權(quán)利要求1的氣浮平臺，其特征在于，更包括軌道裝置，其設(shè)于所述基座的相對二側(cè)，其中所述氣浮板可移動地連接于所述軌道裝置。

9.如權(quán)利要求1的氣浮平臺，其特征在于，所述相鄰排列的多個氣浮機(jī)構(gòu)的氣浮面為相互齊平設(shè)置。

10.一種自動光學(xué)檢查設(shè)備，其特征在于，所述自動光學(xué)檢查設(shè)備包括自動光學(xué)檢查機(jī)及權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的氣浮平臺。