[發明專利]一種設有承載邊框的硅片花籃在審
| 申請號: | 201910677012.0 | 申請日: | 2019-07-25 |
| 公開(公告)號: | CN110379751A | 公開(公告)日: | 2019-10-25 |
| 發明(設計)人: | 羅西佳;騰云;孟祥熙;梅曉東 | 申請(專利權)人: | 常州時創能源科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 213300 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 邊框 豎向插槽 承載 豎邊框 對稱設置 硅片花籃 橫邊框 可活動 主架體 側圍 對端 底端封閉 頂端敞口 橫向插槽 側面 硅片 側架 插放 端板 鉸接 豎置 整片 支承 平行 | ||
1.一種設有承載邊框的硅片花籃,其特征在于,包括主架體和若干承載邊框;
所述承載邊框為矩形,由一對橫邊框條和一對豎邊框條圍成;該對橫邊框條的內側面分別設有:可供硅片插入的橫向插槽;橫向插槽與其所在的橫邊框條同向延伸;其中一個豎邊框條可活動,該可活動的豎邊框條與其中一個橫邊框條鉸接;
所述主架體包括側圍;側圍由一對相互平行的豎置端板和一對側架圍成;該對端板的內側面分別設有:一排可供豎邊框條插放的豎向插槽;該對端板的豎向插槽對稱設置;各豎向插槽的頂端敞口,各豎向插槽的底端封閉;
單個承載邊框的一對豎邊框條分別插入某一對對稱設置的豎向插槽中,且該承載邊框由該對稱設置的豎向插槽支承。
2.根據權利要求1所述的設有承載邊框的硅片花籃,其特征在于,上述一對端板的豎向插槽都位于上述一對側架之間。
3.根據權利要求1所述的設有承載邊框的硅片花籃,其特征在于,所述承載邊框為正方形。
4.根據權利要求1所述的設有承載邊框的硅片花籃,其特征在于,所述承載邊框為長方形,上述一對橫邊框條為長方形的長邊,上述一對豎邊框條為長方形的寬邊。
5.根據權利要求1所述的設有承載邊框的硅片花籃,其特征在于,上述一對側架分別由至少兩個側桿組成,同一側架中的各個側桿位于同一豎直面。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





