[發明專利]微影投影設備在審
| 申請號： | 201910676800.8 | 申請日： | 2019-07-25 |
| 公開（公告）號： | CN110780539A | 公開（公告）日： | 2020-02-11 |
| 發明（設計）人： | 吳旻政;廖啟宏 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 72003 隆天知識產權代理有限公司 | 代理人： | 聶慧荃;鄭特強 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基板 投影設備 微影 發射器 測量系統 波長 光源 光纖 接收器 測量裝置 基板載臺 配置 反射 | ||
【權利要求書】：
1.一種微影投影設備，包括：
一基板測量系統，設置靠近于一基板載臺，該基板測量系統包括：
一發射器，包括：
多個光源，配置以提供多束光束，所述多束光束中的至少一些光束中的每一者具有不同的波長；以及
至少一個光纖，其中該至少一個光纖的多個對應部分中的每一者配置以使所述多束光束中的對應的一者通過；以及
一接收器，定位以收集從該發射器發出的光以及從設置在該基板載臺上的一基板反射的光。
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