[發明專利]一種蒸發源擋板

在審

• 申請號: 201910673869.5
• 申請日: 2019-07-24
• 公開（公告）號: CN110453179A
• 公開（公告）日: 2019-11-15
• 發明（設計）人: 黃逸臻;孫玉俊
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;H01L51/56;C23C14/12
• 代理公司: 35219 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 魏小霞;徐劍兵<國際申請>=<國際公布>

本發明涉及高真空設備技術領域，特別涉及一種蒸發源擋板。所述一種蒸發源擋板，包括：載臺、擋板、壓力傳感器、磁感應開關和金屬片；第一擋板部與載臺相向設置，第三擋板部與載臺相向設置；金屬片分別設置于第一擋板部與載臺相對應的下端、及第三擋板部與載臺相對應的下端；磁感應開關設置于載臺上；金屬片與磁感應開關相向設置；壓力傳感器設置于載臺上，壓力傳感器設置于磁感應開關兩側。通過該裝置當擋板沒有發生形變時，金屬片不會觸碰到旁邊的壓力傳感器，故而壓力傳感器不會感應到壓力，而當擋板發生形變或沒有擺放到正確的位置時，壓力傳感器就會感應到壓力，偵測到異常，隨后發出警報，告知操作人員發生錯誤，節省人力，提高效率。

技術領域

本發明涉及高真空設備技術領域，特別涉及一種蒸發源擋板。

背景技術

在OLED蒸鍍工藝中采用的小擋板(source shutter或small shutter)，它是蒸發源上部存在的一塊不可或缺的擋板，經過加熱源對裝有有機材料的坩堝進行加熱升溫，當達到一定溫度后，只有當小擋板打開，才會讓有機材料蒸汽蒸發出來，被Crystal(石英晶振片)傳感器檢測到后顯示為蒸發源的蒸發速率。而小擋板都是直接采用金屬擋板經過加工后便投入使用，在真空鍍膜作業過程中，蒸發源小擋板需要不斷地進行開合運動或是受到蒸發源高溫對其的影響，容易造成彎曲或偏移形變等問題，致使無法完成真空鍍膜，而這種異常不能被設備所識別，就不會發出警報，需要操作人員逐一排查引起設備停止運行的原因，造成不必要時間的消耗和人力浪費。

發明內容

為此，需要提供一種蒸發源擋板，用以解決現有蒸發源擋板出現彎曲或形變，卻無法被設備識別，需要人工逐一排查，造成時間和人力浪費的問題。具體技術方案如下：

一種蒸發源擋板，包括：載臺、擋板、壓力傳感器、磁感應開關和金屬片；所述擋板包括：第一擋板部、第二擋板部和第三擋板部；所述第二擋板部分別連接所述第一擋板部和所述第三擋板部，所述第二擋板部內凹用于遮蓋蒸發源開口；所述第一擋板部與所述載臺相向設置，所述第三擋板部與所述載臺相向設置；所述金屬片分別設置于所述第一擋板部與所述載臺相對應的下端、及所述第三擋板部與所述載臺相對應的下端；所述磁感應開關設置于所述載臺上；所述金屬片與所述磁感應開關相向設置；所述壓力傳感器設置于所述載臺上，所述壓力傳感器設置于所述磁感應開關兩側。

進一步的，還包括：定位片；所述壓力傳感器通過定位片設置于所述載臺上。

進一步的，所述金屬片長度大小與所述磁感應開關長度大小相同，且所述金屬片與所述磁感應開關正相向設置。

本發明的有益效果是：所述金屬片分別設置于所述第一擋板部與所述載臺相對應的下端、及所述第三擋板部與所述載臺相對應的下端；所述磁感應開關設置于所述載臺上；所述金屬片與所述磁感應開關相向設置；則可通過控制磁感應開關的開與關，來控制對金屬片的吸附與脫附，進而控制擋板的開閉，即如果通有磁場，擋板則會吸在載臺上，相反，未有磁場時，擋板則不會被吸在載臺上。所述壓力傳感器設置于所述載臺上，所述壓力傳感器設置于所述磁感應開關兩側。當擋板沒有發生形變時，金屬片不會觸碰到旁邊的壓力傳感器，故而壓力傳感器不會感應到壓力，而當擋板發生形變或沒有擺放到正確的位置時，壓力傳感器就會感應到壓力，偵測到異常，隨后發出警報，告知操作人員發生錯誤，進而節省需要人為排查故障的時間，節省人力，提高效率。

附圖說明

圖1為具體實施方式所述現有技術蒸發源與擋板的位置示意圖；

圖2為具體實施方式所述現有技術擋板發生異常的示意圖；

圖3為具體實施方式所述一種蒸發源擋板的示意圖；

圖4為具體實施方式所述發出警報的示意圖。

附圖標記說明：

1、載臺，

2、擋板，