[發(fā)明專利]一種蒸發(fā)源擋板

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910673869.5
• 申請日: 2019-07-24
• 公開（公告）號: CN110453179A
• 公開（公告）日: 2019-11-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃逸臻;孫玉俊
• 申請（專利權(quán)）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;H01L51/56;C23C14/12
• 代理公司: 35219 福州市景弘專利代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 魏小霞;徐劍兵<國際申請>=<國際公布>

1.一種蒸發(fā)源擋板，其特征在于，包括：載臺、擋板、壓力傳感器、磁感應(yīng)開關(guān)和金屬片；

所述擋板包括：第一擋板部、第二擋板部和第三擋板部；

所述第二擋板部分別連接所述第一擋板部和所述第三擋板部，所述第二擋板部內(nèi)凹用于遮蓋蒸發(fā)源開口；

所述第一擋板部與所述載臺相向設(shè)置，所述第三擋板部與所述載臺相向設(shè)置；

所述金屬片分別設(shè)置于所述第一擋板部與所述載臺相對應(yīng)的下端、及所述第三擋板部與所述載臺相對應(yīng)的下端；

所述磁感應(yīng)開關(guān)設(shè)置于所述載臺上；

所述金屬片與所述磁感應(yīng)開關(guān)相向設(shè)置；

所述壓力傳感器設(shè)置于所述載臺上，所述壓力傳感器設(shè)置于所述磁感應(yīng)開關(guān)兩側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蒸發(fā)源擋板，其特征在于，還包括：定位片；

所述壓力傳感器通過定位片設(shè)置于所述載臺上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蒸發(fā)源擋板，其特征在于，

所述金屬片長度大小與所述磁感應(yīng)開關(guān)長度大小相同，且所述金屬片與所述磁感應(yīng)開關(guān)正相向設(shè)置。