[發明專利]一種潔凈生產廠房布置結構

在審

• 申請號: 201910666227.2
• 申請日: 2019-07-23
• 公開（公告）號: CN110284737A
• 公開（公告）日: 2019-09-27
• 發明（設計）人: 羅橋;張東
• 申請（專利權）人: 中國電子工程設計院有限公司;世源科技工程有限公司
• 主分類號: E04H5/02
• 分類號: E04H5/02
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 劉紅彬

本申請涉及發光二極管生產、化合物半導體生產的潔凈生產廠房技術領域，公開了一種潔凈生產廠房布置結構，包括：屋架及靜壓箱；潔凈生產層；潔凈下技術夾層；潔凈生產層與潔凈下技術夾層之間采取結構開孔以連通潔凈生產層和潔凈下技術夾層；潔凈生產廠房一側或兩側設置回風夾道，回風夾道的一端與潔凈下技術夾層連通，另一端與位于潔凈生產層上方的靜壓箱連通，用于將潔凈空氣壓送至潔凈生產層，通過回風夾道回收和循環潔凈下技術夾層內的空氣。本申請公開的潔凈生產廠房布置結構，增加了工藝設備布置的靈活性，采用了垂直層流的送風方式，提高了動力管線連接和檢修的便利性、安全性。

技術領域

本申請涉及發光二極管生產、化合物半導體生產的潔凈生產廠房技術領域，特別涉及一種潔凈生產廠房布置結構。

背景技術

發光二極管生產通常是采用單層、多層潔凈生產廠房，柱距以9米為主。潔凈房間的回風方式通常是采用房間之間的隔墻、技術夾道以及房間內的混凝土結構柱周邊作為回風的空間；同時，工藝輔助設備也是布置在同層室內、技術夾道中。

然而，如圖1所示，隨著加工產品尺寸的擴大，工藝設備體積加大，工藝輔助設備也增大、變多，工藝設備具備了前后區的分隔，主設備和輔助設備的分隔。由于是小房間的分隔方式，工藝設備布置的靈活性較差，位于上層的靜壓箱或送風管20壓送的潔凈空氣進入潔凈生產層30后，由側邊的回風夾道或回風管10進行回風，由于各種管線布置在吊頂之上，存在安全隱患，同時，這種上送側回的回風方式，也只適用于空氣潔凈度等級較低的生產環境要求。

發明內容

本申請提供了一種潔凈生產廠房布置結構，通過將生產廠房分隔成上下兩層，增加了工藝設備布置的靈活性，同時采用了垂直層流的送風方式。

為了達到上述目的，本申請提供了一種潔凈生產廠房布置結構，包括：

屋架及靜壓箱；

潔凈生產層；

潔凈下技術夾層；

所述潔凈生產層與所述潔凈下技術夾層之間采取結構開孔以連通所述潔凈生產層和所述潔凈下技術夾層；

所述潔凈生產廠房一側或兩側設置回風夾道，所述回風夾道的一端與所述潔凈下技術夾層連通，另一端與位于所述潔凈生產層上方的所述靜壓箱連通，用于將潔凈空氣壓送至所述潔凈生產層，通過所述回風夾道回收和循環所述潔凈下技術夾層內的空氣。

本申請實施例中通過在潔凈生產層與潔凈下技術夾層之間設置結構開孔，采取垂直層流的方式送風；位于潔凈生產層上方的靜壓箱內部設有風機過濾單元，將過濾后的空氣由潔凈生產層通過結構開孔壓送至潔凈下技術夾層中，在潔凈生產廠房一側或兩側設置回風夾道，該回風夾道兩端分別與潔凈生產層上方的靜壓箱和潔凈下技術夾層連通，靜壓箱通過回風夾道將潔凈下技術夾層中的氣體回收，再次通過風機過濾器單元將潔凈氣體壓送至生產潔凈層，從而在潔凈生產層形成反復循環過濾的潔凈空氣環境。

因此，本申請實施例中的布置結構通過靜壓箱和回風夾道在潔凈生產層與潔凈下技術夾層之間循環潔凈空氣，有利于實現空氣潔凈度等級較高的生產環境要求，工藝設備布置靈活多樣，動力管線安裝、后期檢修和維護便利，降低漏水對工藝設備的隱患。

優選地，所述潔凈生產層與所述潔凈下技術夾層之間采用垂直層流的送風方式。

優選地，一部分所述結構開孔還用于連接所述潔凈下技術夾層內的工藝輔助設備和所述潔凈生產層內的主機臺的動力管線穿過。

優選地，所述潔凈生產層包括光刻區和其它生產區域，所述潔凈下技術夾層內設有承重柱，其中，所述潔凈下技術夾層對應于所述光刻區的部分設置所述承重柱的密度大于所述潔凈下技術夾層對應于所述其他生產區的部分設置所述承重柱的密度。