[發(fā)明專利]一種用于承載硅片的石英舟在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910658330.2 | 申請(qǐng)日: | 2019-07-21 |
| 公開(公告)號(hào): | CN110379750A | 公開(公告)日: | 2019-10-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 潘維;孟祥熙;張賀梅;彭澤明 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 常州時(shí)創(chuàng)能源科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/673 | 分類號(hào): | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 213300 江蘇*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 分隔桿 硅片 石英舟 插放 定位缺口 側(cè)架 側(cè)圍 對(duì)稱設(shè)置 左右設(shè)置 主架體 石英 端板 對(duì)端 兩排 豎置 承載 可拆卸的 前后設(shè)置 豎向插槽 板豎 側(cè)邊 拆下 底架 頂邊 卡入 分隔 平行 配置 配合 | ||
本發(fā)明公開了一種用于承載硅片的石英舟,包括石英主架體,石英主架體包括側(cè)圍和底架,側(cè)圍由一對(duì)左右設(shè)置的側(cè)架和一對(duì)前后設(shè)置的端板圍成,該對(duì)端板豎置且相互平行,該對(duì)側(cè)架分別設(shè)有可供硅片側(cè)邊插放的豎向插槽,且該對(duì)側(cè)架相互配合;側(cè)圍中還設(shè)有分隔桿;上述一對(duì)端板的頂邊分別設(shè)有:可供分隔桿端部插放的定位缺口;該對(duì)端板的定位缺口對(duì)稱設(shè)置;分隔桿的兩端卡入一對(duì)對(duì)稱設(shè)置的定位缺口中。本發(fā)明給現(xiàn)有石英舟配置了可拆卸的分隔桿;當(dāng)分隔桿拆下,石英舟可插放一排豎置硅片;當(dāng)分隔桿裝上,可分隔石英舟的內(nèi)部空間,進(jìn)而可插放兩排豎置硅片,該兩排硅片左右設(shè)置。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種用于承載硅片的石英舟。
背景技術(shù)
石英舟是用于承載硅片的器具,其內(nèi)部空間用于插放豎置硅片,包括石英主架體,石英主架體包括側(cè)圍和底架,側(cè)圍由一對(duì)左右設(shè)置的側(cè)架和一對(duì)前后設(shè)置的端板圍成,該對(duì)端板豎置且相互平行,該對(duì)側(cè)架分別設(shè)有可供硅片側(cè)邊插放的豎向插槽,且該對(duì)側(cè)架相互配合。
隨著太陽能電池技術(shù)的發(fā)展,將硅片整片分割為至少兩個(gè)分片,可提高太陽組件的效率。但現(xiàn)有的石英舟都是根據(jù)硅片整片的形狀來設(shè)計(jì)的,故分片需要另外獨(dú)立設(shè)計(jì)石英舟,增加了企業(yè)的生產(chǎn)成本。
發(fā)明內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷,本發(fā)明提供一種用于承載硅片的石英舟,其內(nèi)部空間用于插放豎置硅片,包括石英主架體,石英主架體包括側(cè)圍和底架,側(cè)圍由一對(duì)左右設(shè)置的側(cè)架和一對(duì)前后設(shè)置的端板圍成,該對(duì)端板豎置且相互平行,該對(duì)側(cè)架分別設(shè)有可供硅片側(cè)邊插放的豎向插槽,且該對(duì)側(cè)架相互配合;
所述側(cè)圍中還設(shè)有分隔桿;上述一對(duì)端板的頂邊分別設(shè)有:可供分隔桿端部插放的定位缺口;該對(duì)端板的定位缺口對(duì)稱設(shè)置;分隔桿的兩端卡入一對(duì)對(duì)稱設(shè)置的定位缺口中。
本發(fā)明給現(xiàn)有石英舟配置了可拆卸的分隔桿(分隔桿的兩端可從定位缺口中取出);當(dāng)分隔桿拆下,石英舟可插放一排豎置硅片(整片);當(dāng)分隔桿裝上(分隔桿的兩端卡入一對(duì)對(duì)稱設(shè)置的定位缺口中),可分隔石英舟的內(nèi)部空間,進(jìn)而可插放兩排豎置硅片(該兩排硅片可以是上述整片的分片),該兩排硅片左右設(shè)置(即該兩排硅片分設(shè)于分隔桿兩側(cè))。
優(yōu)選的,所述分隔桿為槽桿,且分隔桿的左右兩側(cè)分別設(shè)有可供硅片側(cè)邊插放的豎向插槽;分隔桿上的插槽與側(cè)架上的插槽相配合。若分隔桿選擇槽桿,槽桿上設(shè)有可供硅片插放的插槽,可以更穩(wěn)定地放置硅片。
優(yōu)選的,任一端板的頂邊都設(shè)有至少兩個(gè)定位缺口。分隔桿的安裝位置在左右方向上可選擇,可沿左右方向調(diào)整分隔桿的安裝位置,以適應(yīng)不同尺寸的硅片。
優(yōu)選的,任一端板的頂邊都設(shè)有至少三個(gè)定位缺口;同一端板上的定位缺口等間隔依次設(shè)置。分隔桿的安裝位置在左右方向上可選擇,且可沿左右方向等間隔地調(diào)整分隔桿的安裝位置,以適應(yīng)不同尺寸的硅片。
優(yōu)選的,有位于同一端板上的兩個(gè)定位缺口,它們的間距為上述一對(duì)側(cè)架間距的六分之一;該兩個(gè)定位缺口給1/6分片提供了放置的可能性,若有兩個(gè)分隔桿與該兩個(gè)定位缺口一一對(duì)應(yīng)裝配,則1/6分片可插放在該兩個(gè)分隔桿之間。
優(yōu)選的,有位于同一端板上的兩個(gè)定位缺口,它們的間距為上述一對(duì)側(cè)架間距的五分之一;該兩個(gè)定位缺口給1/5分片提供了放置的可能性,若有兩個(gè)分隔桿與該兩個(gè)定位缺口一一對(duì)應(yīng)裝配,則1/5分片可插放在該兩個(gè)分隔桿之間。
優(yōu)選的,有位于同一端板上的兩個(gè)定位缺口,它們的間距為上述一對(duì)側(cè)架間距的四分之一;該兩個(gè)定位缺口給1/4分片提供了放置的可能性,若有兩個(gè)分隔桿與該兩個(gè)定位缺口一一對(duì)應(yīng)裝配,則1/4分片可插放在該兩個(gè)分隔桿之間。
優(yōu)選的,有位于同一端板上的兩個(gè)定位缺口,它們的間距為上述一對(duì)側(cè)架間距的三分之一;該兩個(gè)定位缺口給1/3分片提供了放置的可能性,若有兩個(gè)分隔桿與該兩個(gè)定位缺口一一對(duì)應(yīng)裝配,則1/3分片可插放在該兩個(gè)分隔桿之間。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





