[發明專利]覆銅層疊板有效
| 申請號： | 201910640432.1 | 申請日： | 2019-07-16 |
| 公開（公告）號： | CN110740579B | 公開（公告）日： | 2023-04-07 |
| 發明（設計）人： | 渡邊智治;小川茂樹;下地匠;西山芳英 | 申請（專利權）人： | 住友金屬礦山株式會社 |
| 主分類號： | H05K3/02 | 分類號： | H05K3/02;H05K3/06 |
| 代理公司： | 隆天知識產權代理有限公司 72003 | 代理人： | 陳曦;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 層疊 | ||
【權利要求書】：
1.一種覆銅層疊板，其特征在于，其包括：
基膜；
形成在所述基膜的表面的金屬層；以及
形成在所述金屬層的表面且作為雜質含有氯的鍍銅被膜，
所述鍍銅被膜的厚度方向的氯濃度分布包含復數個山形的局部分布，
復數個所述局部分布的全部或一部分中，峰處的通過二次離子質量分析法測定的氯濃度為2×1019原子/cm3以上。
2.如權利要求1所述的覆銅層疊板，其中，
復數個所述局部分布的全部或一部分中，半峰全寬比與相鄰的所述局部分布的峰間隔的一半窄。
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