[發明專利]一種用于薄膜盤面繃緊的機構

有效

• 申請號: 201910634051.2
• 申請日: 2019-07-15
• 公開（公告）號: CN110531588B
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發明（設計）人: 王皓;望凱力;王廣平;呂嗣鴻;曹宇
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種用于薄膜盤面繃緊的機構，使得某光刻所用的薄膜在繃緊之后具有一定的內應力；本發明包括薄膜、上封蓋、餅盤、下托盤、驅動推柱；其中，餅盤由六塊結構完全相同的扇形體組成，每個扇形體包括扇形盤體、導向滑槽以及薄膜粘接凸臺區域，下托盤包括圓形盤體、導向滑鍵以及復位彈性體；利用下托盤和上封蓋約束餅盤的軸向自由度，利用導向滑塊滑槽結構約束餅盤的轉動自由度，限制餅盤只能沿半徑方向向外伸展，利用驅動錐柱的軸向進動作為餅盤外伸的動力，使粘接在薄膜粘接凸臺區域上的薄膜均勻繃緊且具有一定的內應力。

技術領域

本發明涉及某種薄膜鏡設備領域，具體提出了一種用于薄膜盤面繃緊的機構，使薄膜在某光刻過程中保持平整緊繃并具有一定的內應力。

背景技術

在某種使用薄膜進行工作的光刻機的光刻過程前，需要對使用的薄膜進行預繃緊，使薄膜表面平整，提高光刻的成功率。薄膜固定在繃緊機構上，通過繃緊機構的外擴，帶動薄膜，使其繃緊；薄膜在繃膜機構上被繃緊后，會有切膜機構將繃緊的薄膜固定，只截取中間圓形部分，轉移到光刻機上進行下一步光刻工序。

光刻前會在薄膜上均勻涂上光刻膠，若作為基礎的薄膜表面不平整，會導致光刻膠表面不平整，在光刻的過程中會導致圖樣走形，使光刻機不能正常光刻。

目前所使用的繃膜機構大多為長方形，通常存在薄膜拉不緊的問題，無法順利的完成切膜工序，切膜時PI薄膜切不斷或者薄膜切面切不平整導致造成薄膜的浪費，大大提高了生產成本和生產時間，導致生產效率低。

發明內容

本發明為保證薄膜在繃緊過程表面平整且具有一定的內應力，提出一種用于薄膜盤面繃緊的機構。

本發明所采用的設計方法是：根據圓形工作面，設計的一種用于薄膜盤面繃緊的機構包括薄膜(101)、上封蓋(102)、餅盤(103)、下托盤(104)、驅動推柱(105)；所述的餅盤(103)由六塊結構其安全相同的扇形體(301、302、303、304、305、306)組成，每個扇形體包括扇形盤體(401)、導向滑槽(402)以及薄膜粘接凸臺區域(403)，所述的下托盤(104)包括圓形盤體(501)、導向滑塊(502)以及彈性柱體(503)；所述的薄膜(101)與扇形體(301、302、303、304、305、306)的薄膜粘接凸臺區域連接(403)，所述下托盤(104)的導向滑塊(502)與上封蓋(102)相連接，所述的扇形體(301、302、303、304、305、306)的導向滑槽(402)與所述下托盤(104)通過導向滑塊(502)和彈性柱體(503)連接；所述扇形體(301、302、303、304、305、306)的薄膜粘接凸臺區域(403)為扇形環狀，且相對于扇形盤體(401)上表面具有一定的凸起高度，扇形盤體(401)幾何中心有導向滑槽(402)，扇形體(301、302、303、304、305、306)的頂角形狀為環切面斜角，頂角角度為60度；所述的下托盤(104)為環狀，下托盤(104)上表面軸向分布6個等角度的導向滑塊(502)，導向滑塊(502)外端面與彈性柱體(105)相連接。

本發明一種用于薄膜盤面繃緊的機構，所述驅動推柱(105)頂部為的圓臺，圓臺斜角與所述扇形體(301、302、303、304、305、306)頂端環切面斜角一致，通過所述驅動推柱(105)的軸向移動，推動六個所述扇形體(301、302、303、304、305、306)沿徑向同步遠離圓心，在回程時，通過所述彈性柱體(503)施加回程力，確保六個扇形體同步回歸初始點。

本發明一種用于薄膜盤面繃緊的機構，所述下托盤(104)的導向滑塊(402)與上封蓋(102)由螺栓連接，便于拆卸，修理和裝配。

本發明一種用于薄膜盤面繃緊的機構，所述上封蓋(102)的下表面和所述扇形體(301、302、303、304、305、306)沿凸起上表面在同一平面。