[發明專利]一種用于薄膜盤面繃緊的機構

有效

• 申請號: 201910634051.2
• 申請日: 2019-07-15
• 公開（公告）號: CN110531588B
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發明（設計）人: 王皓;望凱力;王廣平;呂嗣鴻;曹宇
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于薄膜盤面繃緊的機構，其特征在于：該機構包括PI薄膜(101)、上封蓋(102)、餅盤(103)、下托盤(104)、驅動推柱(105)，所述的餅盤(103)由六塊結構完全相同的扇形體(301、302、303、304、305、306)組成，每個扇形體包括扇形盤體(401)、導向滑槽(402)以及PI薄膜粘接凸臺區域(403)，所述的下托盤(104)包括圓形盤體(501)、導向滑塊(502)以及彈性柱體(503)，所述的薄膜(101)與扇形體(301、302、303、304、305、306)的薄膜粘接凸臺區域(403)連接，所述下托盤(104)的導向滑塊(502)與上封蓋(102)相連接，所述的扇形體(301、302、303、304、305、306)的導向滑槽(402)與所述下托盤(104)通過導向滑塊(502)和彈性柱體(503)連接，所述驅動推柱(105)頂部為的圓臺，圓臺斜角與所述扇形體(301、302、303、304、305、306)頂端環切面斜角一致。

2.根據權利要求1所述的一種用于薄膜盤面繃緊的機構，其特征在于：所述扇形體(301、302、303、304、305、306)的薄膜粘接凸臺區域(403)為扇形環狀，且相對于扇形盤體(401)上表面具有一定的凸起高度，扇形盤體(401)幾何中心有導向滑槽(402)，扇形體(301、302、303、304、305、306)的頂角具有環切面斜角，頂角角度為60度。

3.根據權利要求1所述一種用于薄膜盤面繃緊的機構，其特征在于：所述的下托盤(104)為環狀，下托盤(104)上表面周向分布6個等角度的導向滑塊(502)，導向滑塊(502)外端面與彈性柱體(503)相連接。

4.根據權利要求1所述的一種用于薄膜盤面繃緊的機構，其特征在于：通過所述上封蓋(102)和下托盤(104)對所述導向滑槽(402)施加軸向約束，通過所述導向滑槽(402)和導向滑快(502)對所述扇形體(301、302、303、304、305、306)施加轉動約束，通過所述彈性柱體(503)對所述扇形體(301、302、303、304、305、306)施加初始預緊力，確保六塊結構完全相同的扇形體(301、302、303、304、305、306)的初始位置一致。

5.根據權利要求2所述的一種用于薄膜盤面繃緊的機構，其特征在于：通過所述驅動推柱(105)的軸向移動，推動六個所述扇形體(301、302、303、304、305、306)沿徑向同步遠離圓心，在回程時，通過所述彈性柱體(503)施加回程力，確保六個扇形體(301、302、303、304、305、306)同步回歸初始點。

6.根據權利要求1所述的一種用于薄膜盤面繃緊的機構，其特征在于：所述下托盤(104)的導向滑塊(502)與上封蓋(102)由螺栓連接，便于拆卸，修理和裝配。

7.根據權利要求3所述的一種用于薄膜盤面繃緊的機構，其特征在于：所述上封蓋(102)的下表面和所述薄膜粘接凸臺區域(403)上表面在同一平面。