[發明專利]磨削裝置的原點位置設定機構和原點位置設定方法

在審

• 申請號: 201910628125.1
• 申請日: 2019-07-12
• 公開（公告）號: CN110842779A
• 公開（公告）日: 2020-02-28
• 發明（設計）人: 木村泰一朗;原田成規;山下真司
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B24B49/00
• 分類號: B24B49/00;B24B47/20;B24B41/00;B24B53/06;B24B53/12;H01L21/304
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

1.一種磨削裝置的原點位置設定機構，其用于在磨削裝置中設定磨削磨具相對于卡盤工作臺的原點位置，

該磨削裝置具有：

所述卡盤工作臺，其具有對被加工物進行保持的保持面；

磨削單元，其具有主軸和電動機，在該主軸上安裝對該卡盤工作臺所保持的被加工物進行磨削的所述磨削磨具，該電動機使該主軸旋轉驅動；以及

磨削單元進給機構，其使該磨削單元在與該卡盤工作臺的保持面垂直的方向上移動，

其特征在于，

該原點位置設定機構具有：

電流值檢測單元，其對該電動機的負載電流值進行檢測；

磨削單元位置檢測單元，其對借助該磨削單元進給機構而移動的該磨削單元的位置進行檢測；以及

控制單元，其根據來自該電流值檢測單元和該磨削單元位置檢測單元的檢測信號而設定該原點位置，

該控制單元通過借助該磨削單元進給機構使旋轉的該磨削磨具在與該卡盤工作臺垂直的方向上移動并使該磨削磨具的磨削面與該卡盤工作臺的保持面上所保持的修整板的正面接觸，而將在該電動機的負載電流值達到預先設定的閾值以上的時刻由該磨削單元位置檢測單元所檢測的該磨削單元的位置減去該修整板的厚度而得的位置設定為該原點位置，其中，所述修整板具有用于實施該磨削磨具的修整的板狀磨具。

2.一種磨削裝置的原點位置設定方法，用于在磨削裝置中設定磨削磨具相對于卡盤工作臺的原點位置，

該磨削裝置具有：

所述卡盤工作臺，其具有對被加工物進行保持的保持面；

磨削單元，其具有主軸和電動機，在該主軸上安裝對該卡盤工作臺所保持的被加工物進行磨削的所述磨削磨具，該電動機使該主軸旋轉驅動；以及

磨削單元進給機構，其使該磨削單元在與該卡盤工作臺的保持面垂直的方向上移動，

其特征在于，

該原點位置設定方法具有如下的步驟：

修整板保持步驟，將修整板保持于該卡盤工作臺上，該修整板具有用于實施該磨削磨具的修整的板狀磨具；

磨削磨具接觸步驟，通過該磨削單元進給機構使借助該電動機而旋轉的該磨削磨具在與該卡盤工作臺垂直的方向上移動，并使該磨削磨具與該修整板的正面接觸；以及

位置存儲步驟，對該電動機的負載電流值達到閾值以上的時刻的該磨削單元的位置進行存儲，

將通過該位置存儲步驟而存儲的磨削單元的位置減去該修整板的厚度而得的位置設定為該原點位置。