[發(fā)明專利]磨削裝置的原點(diǎn)位置設(shè)定機(jī)構(gòu)和原點(diǎn)位置設(shè)定方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910628125.1
• 申請(qǐng)日: 2019-07-12
• 公開（公告）號(hào): CN110842779A
• 公開（公告）日: 2020-02-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 木村泰一朗;原田成規(guī);山下真司
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): B24B49/00
• 分類號(hào): B24B49/00;B24B47/20;B24B41/00;B24B53/06;B24B53/12;H01L21/304
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

1.一種磨削裝置的原點(diǎn)位置設(shè)定機(jī)構(gòu)，其用于在磨削裝置中設(shè)定磨削磨具相對(duì)于卡盤工作臺(tái)的原點(diǎn)位置，

該磨削裝置具有：

所述卡盤工作臺(tái)，其具有對(duì)被加工物進(jìn)行保持的保持面；

磨削單元，其具有主軸和電動(dòng)機(jī)，在該主軸上安裝對(duì)該卡盤工作臺(tái)所保持的被加工物進(jìn)行磨削的所述磨削磨具，該電動(dòng)機(jī)使該主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；以及

磨削單元進(jìn)給機(jī)構(gòu)，其使該磨削單元在與該卡盤工作臺(tái)的保持面垂直的方向上移動(dòng)，

其特征在于，

該原點(diǎn)位置設(shè)定機(jī)構(gòu)具有：

電流值檢測(cè)單元，其對(duì)該電動(dòng)機(jī)的負(fù)載電流值進(jìn)行檢測(cè)；

磨削單元位置檢測(cè)單元，其對(duì)借助該磨削單元進(jìn)給機(jī)構(gòu)而移動(dòng)的該磨削單元的位置進(jìn)行檢測(cè)；以及

控制單元，其根據(jù)來自該電流值檢測(cè)單元和該磨削單元位置檢測(cè)單元的檢測(cè)信號(hào)而設(shè)定該原點(diǎn)位置，

該控制單元通過借助該磨削單元進(jìn)給機(jī)構(gòu)使旋轉(zhuǎn)的該磨削磨具在與該卡盤工作臺(tái)垂直的方向上移動(dòng)并使該磨削磨具的磨削面與該卡盤工作臺(tái)的保持面上所保持的修整板的正面接觸，而將在該電動(dòng)機(jī)的負(fù)載電流值達(dá)到預(yù)先設(shè)定的閾值以上的時(shí)刻由該磨削單元位置檢測(cè)單元所檢測(cè)的該磨削單元的位置減去該修整板的厚度而得的位置設(shè)定為該原點(diǎn)位置，其中，所述修整板具有用于實(shí)施該磨削磨具的修整的板狀磨具。

2.一種磨削裝置的原點(diǎn)位置設(shè)定方法，用于在磨削裝置中設(shè)定磨削磨具相對(duì)于卡盤工作臺(tái)的原點(diǎn)位置，

該磨削裝置具有：

所述卡盤工作臺(tái)，其具有對(duì)被加工物進(jìn)行保持的保持面；

磨削單元，其具有主軸和電動(dòng)機(jī)，在該主軸上安裝對(duì)該卡盤工作臺(tái)所保持的被加工物進(jìn)行磨削的所述磨削磨具，該電動(dòng)機(jī)使該主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；以及

磨削單元進(jìn)給機(jī)構(gòu)，其使該磨削單元在與該卡盤工作臺(tái)的保持面垂直的方向上移動(dòng)，

其特征在于，

該原點(diǎn)位置設(shè)定方法具有如下的步驟：

修整板保持步驟，將修整板保持于該卡盤工作臺(tái)上，該修整板具有用于實(shí)施該磨削磨具的修整的板狀磨具；

磨削磨具接觸步驟，通過該磨削單元進(jìn)給機(jī)構(gòu)使借助該電動(dòng)機(jī)而旋轉(zhuǎn)的該磨削磨具在與該卡盤工作臺(tái)垂直的方向上移動(dòng)，并使該磨削磨具與該修整板的正面接觸；以及

位置存儲(chǔ)步驟，對(duì)該電動(dòng)機(jī)的負(fù)載電流值達(dá)到閾值以上的時(shí)刻的該磨削單元的位置進(jìn)行存儲(chǔ)，

將通過該位置存儲(chǔ)步驟而存儲(chǔ)的磨削單元的位置減去該修整板的厚度而得的位置設(shè)定為該原點(diǎn)位置。