[發(fā)明專利]一種基于線切割的半導(dǎo)體硅棒截斷設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910618520.1
• 申請日: 2019-07-10
• 公開（公告）號: CN110303608B
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳惠麗
• 申請（專利權(quán)）人: 蔡歐
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D5/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于線切割的半導(dǎo)體硅棒截斷設(shè)備，包括機座；

所述機座內(nèi)設(shè)有開口朝上的傳送腔，所述傳送腔內(nèi)設(shè)有用于輸送硅棒并使硅棒移動到指定工作位置的送料裝置，所述送料裝置上可設(shè)有不少于兩個的夾具，所述夾具可通過設(shè)置于送料裝置上的固定座，固定連接于所述固定座上側(cè)端面上且兩個左右對稱的滑臺，滑動連接于所述滑臺上側(cè)端面上的滑桿，設(shè)置于所述滑桿上且開口朝向?qū)ΨQ中心一側(cè)的滑腔，滑動連接于所述滑腔內(nèi)的推桿，連接于所述推桿和所述滑腔遠離對稱中心一側(cè)內(nèi)壁之間的壓縮彈簧，固定連接于所述推桿靠近對稱中心一端上夾持塊，利用所述滑桿向?qū)ΨQ中心一側(cè)移動和所述壓縮彈簧推動所述推桿向?qū)ΨQ中心一側(cè)移動，從而實現(xiàn)所述夾持塊對硅棒的夾持固定；

所述機座上設(shè)有位于送料裝置左側(cè)的用于為線切割提供升降運動的進給裝置，所述進給裝置內(nèi)設(shè)有用于對硅棒進行線切割的線切割裝置，所述機座上設(shè)有位于所述進給裝置左側(cè)的傳動裝置，所述傳動裝置可通過設(shè)置于所述機座內(nèi)且位于所述傳送腔左側(cè)的開口朝上的升降腔，滑動連接于所述升降腔右側(cè)內(nèi)壁上的升降座，轉(zhuǎn)動連接于所述升降座上側(cè)端面且向上延伸的轉(zhuǎn)軸，固定連接于所述轉(zhuǎn)軸上的花鍵輪，與所述花鍵輪花鍵連接的轉(zhuǎn)盤，利用所述升降座帶動所述花鍵輪上下移動可實現(xiàn)所述花鍵輪與所述轉(zhuǎn)盤的嚙合和脫離運動，從而可控制所述線切割裝置在上升退刀過程中不轉(zhuǎn)動，避免破壞加工后的硅棒表面；

所述送料裝置包括轉(zhuǎn)動連接于所述傳送腔左側(cè)內(nèi)壁上且向右延伸的兩根前后對稱的電機軸，所述電機軸上固定連接有傳動帶輪，前后兩側(cè)的所述傳動帶輪之間連接有傳動帶，所述傳動帶遠離圓心一側(cè)端面上環(huán)向陣列分布有數(shù)個左右對稱的用于固定所述夾具的固定塊，前側(cè)的所述電機軸上動力連接有固定連接于所述傳送腔右側(cè)內(nèi)壁上的電機；

所述進給裝置包括轉(zhuǎn)動連接于所述機座上側(cè)端面上且向上延伸的絲桿，所述絲桿位于所述傳送腔左側(cè)，所述絲桿上動力連接有固定連接于所述機座上側(cè)端面上的主電機，所述絲桿上固定連接有位于所述主電機上側(cè)的大齒輪，所述絲桿上滑動連接有切割箱，所述切割箱內(nèi)設(shè)有開口朝下的切割腔，所述切割腔前后兩側(cè)內(nèi)壁上設(shè)有前后貫通為位于所述絲桿右側(cè)的U形槽，所述切割腔下側(cè)內(nèi)壁上固定連接有與所述絲桿螺紋連接連接的傳動螺母；

所述傳動裝置包括固定連接于所述機座上側(cè)端面上且位于所述升降腔左側(cè)的L形的固定架，所述固定架上側(cè)內(nèi)壁上轉(zhuǎn)動連接有與所述切割箱滑動連接且向下延伸至所述切割箱下側(cè)端面外的滑鍵軸，所述轉(zhuǎn)盤上側(cè)端面與所述滑鍵軸位于所述切割箱下側(cè)的一端相固定連接，所述升降座左端端面上固定連接有齒條，所述齒條上側(cè)端面上固定連接有L形桿，所述L形桿上固定連接有兩個上下對稱的撥桿，所述升降腔后側(cè)內(nèi)壁上轉(zhuǎn)動連接有向前延伸的齒輪軸，所述齒輪軸上固定連接有與所述齒條嚙合連接的齒輪；

所述線切割裝置包括滑鍵連接于所述滑鍵軸上且位于所述切割腔內(nèi)的帶輪，所述切割腔上下兩側(cè)內(nèi)壁上分別固定連接有位于所述滑鍵軸左側(cè)的滑輪桿，所述滑輪桿上轉(zhuǎn)動連接有與所述帶輪滑動連接的滑輪，所述切割腔上側(cè)內(nèi)壁上轉(zhuǎn)動連接有位于所述U形槽上側(cè)且向下延伸的復(fù)合軸，所述復(fù)合軸上固定連接有V帶輪，所述V帶輪與所述帶輪之間連接有V帶，所述復(fù)合軸上固定連接有位于所述V帶輪下側(cè)的錐齒輪，所述切割腔后側(cè)內(nèi)壁上轉(zhuǎn)動連接有位于所述錐齒輪下側(cè)且向前延伸的轉(zhuǎn)輪軸，所述轉(zhuǎn)輪軸上固定連接有與所述錐齒輪嚙合連接的副錐齒輪，所述轉(zhuǎn)輪軸上固定連接有位于所述副錐齒輪前側(cè)的繞線輪，所述切割腔后側(cè)內(nèi)壁上轉(zhuǎn)動連接有位于所述U形槽左右兩側(cè)且對稱的兩根短軸，所述短軸向前延伸，且所述短軸上固定連接有轉(zhuǎn)輪，所述繞線輪與兩個所述轉(zhuǎn)輪三者之間纏繞連接有切割線。

2.如權(quán)利要求1所述的一種基于線切割的半導(dǎo)體硅棒截斷設(shè)備，其特征在于：所述夾具包括可與所述傳動帶輪螺栓連接的所述固定座，所述固定座內(nèi)設(shè)有開口向上的滑移腔，所述滑移腔內(nèi)壁上滑動連接有升降塊，所述升降塊與所述滑移腔下側(cè)內(nèi)壁之間連接有輕質(zhì)彈簧，所述升降塊上側(cè)端面上固定連接有升降臺，所述升降臺內(nèi)設(shè)有開口朝上的滑動腔，所述滑動腔下側(cè)內(nèi)壁上滑動連接有兩個左右對稱的斜臺，所述斜臺上側(cè)端面和所述夾持塊靠近對稱中心一側(cè)端面上均固定連接有橡膠塊，所述斜臺遠離對稱中心一側(cè)端面與所述滑動腔左側(cè)或右側(cè)內(nèi)壁之間連接有推力彈簧，所述滑臺上鉸接有擺桿，所述擺桿上設(shè)有前后貫通的滑槽，所述滑桿上固定連接有滑動連接于所述滑槽內(nèi)的滑銷，所述升降臺上鉸接有兩個左右對稱的連桿，所述連桿遠離對稱中心一端與所述擺桿相鉸接且鉸接處位于所述滑槽下側(cè)。

3.如權(quán)利要求2所述的一種基于線切割的半導(dǎo)體硅棒截斷設(shè)備，其特征在于：所述輕質(zhì)彈簧的彈性系數(shù)較小，僅能支撐空載下的所述升降塊，當有任意直徑的硅棒固定在所述斜臺上時，所述輕質(zhì)彈簧均被壓縮到極限，即所述升降塊下移到下限位處，所述橡膠塊為彈性材料，在固定硅棒時，能有效避免由于硅棒外表面的不規(guī)則性，使得硅棒其中一端固定處于過定位或欠定位的狀態(tài)。