[發明專利]一種X射線薄膜窗口電極的制備優化方法以及由此得到的X射線薄膜窗口電極

有效

• 申請號: 201910618474.5
• 申請日: 2019-07-10
• 公開（公告）號: CN110473754B
• 公開（公告）日: 2020-07-31
• 發明（設計）人: 于鵬飛;劉嘯嵩;鄭順;任國璽;張念
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統與信息技術研究所
• 主分類號: H01J9/02
• 分類號: H01J9/02;H01J35/04;G01N23/083;G01N23/20
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 宋麗榮

1.一種X射線薄膜窗口電極的制備優化方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1，根據電極材料確定X射線能量范圍；

S2，根據該X射線能量范圍內的吸收長度確定至少一個基體層的第一材料和第一厚度；

S3，根據該X射線能量范圍內的吸收長度確定至少一個導電層的第二材料和第二厚度；

S4，使用氣相沉積方法將第二材料生長于第一材料上以得到導電層覆蓋在基體層上的至少一個復合層；

S5，結合標準電極材料的譜學信號測試確定最終復合層；

S6，使用旋涂法、刮涂法或氣相沉積法在最終復合層的第二材料上形成電極層，從而得到X射線薄膜窗口電極。

2.根據權利要求1所述的制備優化方法，其特征在于，所述X射線能量范圍為50eV-20000eV。

3.根據權利要求1所述的制備優化方法，其特征在于，所述步驟S2具體為：根據該吸收長度確定多個基體層的第一候選材料和第一候選厚度；根據第一候選材料在不同X射線能量下的光透過率隨第一候選厚度的演變情況，進一步確定多個基體層。

4.根據權利要求1所述的制備優化方法，其特征在于，所述步驟S3還包括：根據電極材料的反應電位、導電層材料的導電性、和導電層材料的電化學穩定性來確定多個導電層。

5.根據權利要求1所述的制備優化方法，其特征在于，所述步驟S3具體為：根據該吸收長度確定多個導電層的第二候選材料和第二候選厚度；根據第二候選材料在不同X射線能量下的光透過率隨第二候選厚度的演變情況，進一步確定多個導電層。

6.根據權利要求1所述的制備優化方法，其特征在于，該制備優化方法還包括步驟S7，將X射線薄膜窗口電極組裝成原位電池進行電化學性能測試，結合X射線測試方法進行檢驗。

7.根據權利要求6所述的制備優化方法，其特征在于，該X射線測試方法包括X射線吸收、X射線衍射和X射線散射中的一種或多種。

8.一種根據權利要求1-7中任一項所述的制備優化方法得到的X射線薄膜窗口電極，其特征在于，其包括由基體層、導電層和電極層依次復合形成的三層復合結構。

9.根據權利要求8所述的X射線薄膜窗口電極，其特征在于，基體層是3，4-(亞甲二氧)肉桂酸、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚酰亞胺、聚丙烯、聚四氟乙烯、氮化硅和氮化硼中的至少一種。

10.根據權利要求8所述的X射線薄膜窗口電極，其特征在于，導電層是Au、Ag、Al、Cu和C中的至少一種。