[發明專利]體聲波諧振器

在審

• 申請號: 201910614244.1
• 申請日: 2019-07-09
• 公開（公告）號: CN111049488A
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 金泰潤;林昶賢;尹湘基;李泰京;李文喆;李泰勳
• 申請（專利權）人: 三星電機株式會社
• 主分類號: H03H3/02
• 分類號: H03H3/02;H03H9/02;H03H9/205
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 錢海洋;王春芝

本發明提供一種體聲波諧振器，所述體聲波諧振器包括：基板；腔，形成在所述基板中；第一電極、壓電層和第二電極，按順序堆疊在所述基板上；諧振部，通過在所述腔的上部在豎直方向上疊置的所述第一電極、所述壓電層和所述第二電極定義；附加層，設置在布置于位于所述諧振部的外側的布線區域中的所述第一電極的一個表面上；以及布線電極，連接至布置在所述布線區域中的所述第一電極。所述第一電極與所述附加層和所述布線電極形成接觸界面表面。

本申請要求于2018年10月12日在韓國知識產權局提交的第10-2018-0121707號韓國專利申請的優先權的權益，所述韓國專利申請的全部公開內容出于所有目的通過引用被包含于此。

技術領域

本申請涉及一種體聲波諧振器。

背景技術

近來，隨著移動通信裝置、化學裝置和生物裝置等的迅速發展，對這樣的裝置中使用的小型輕量化的濾波器、振蕩器、諧振元件、聲波諧振質量傳感器等的需求已經增加。

通常，薄膜體聲波諧振器(FBAR)已經用作實現小型輕量化的濾波器、振蕩器、諧振元件、聲波諧振質量傳感器等的裝置。可以以非常低的成本批量生產薄膜體聲波諧振器，并且薄膜體聲波諧振器可被實現為微型諧振器。此外，薄膜體聲波諧振器可實現高的品質因子(Q)(濾波器的主要性質之一)，并且可在微頻帶中使用，并且可部分地實現個人通信系統(PCS)頻帶和數字無繩系統(DCS)頻帶。

通常，薄膜體聲波諧振器可包括通過在基板上按順序堆疊第一電極、壓電層、第二電極實現的諧振部。關于薄膜體聲波諧振器的工作原理，通過施加到第一電極和第二電極的電能，在壓電層中感應出電場，并且由于感應出的電場在壓電層中發生壓電效應，使得諧振器可在特定方向上振動。結果，可在與振動方向相同的方向上產生體聲波，并且可發生諧振。

提供以上信息作為背景信息僅為幫助理解本公開。關于以上任何內容是否可作為相對于本公開的現有技術適用，沒有做出任何決定，并且沒有做出任何斷言。

發明內容

提供本發明內容以按照簡化形式介紹所選擇的構思，在以下具體實施方式中進一步描述所述構思。本發明內容既不意在確定所要求保護的主題的關鍵特征或必要特征，也不意在用于幫助確定所要求保護的主題的范圍。

在一個總體方面，一種體聲波諧振器包括：基板；腔，形成在所述基板中或形成在所述基板上；第一電極、壓電層和第二電極，按順序堆疊在所述基板上；諧振部，通過在所述腔的上部在豎直方向上疊置的所述第一電極、所述壓電層和所述第二電極定義；附加層，設置在布置在位于所述諧振部的外側的布線區域中的所述第一電極的一個表面上；以及布線電極，連接至布置在所述布線區域中的所述第一電極。所述第一電極與所述附加層和所述布線電極形成接觸界面表面。

所述附加層可設置在布置在所述布線區域中的所述第一電極的上表面上，并且可包括使布置在所述布線區域中的所述第一電極暴露的圖案，并且布置在所述布線區域中的所述第一電極可通過所述圖案連接至所述布線電極。

所述附加層可覆蓋布置在所述布線區域中的所述第一電極的邊緣。

布置在所述諧振部中的所述第一電極和布置在所述布線區域中的所述第一電極可彼此分開，并且覆蓋布置在所述布線區域中的所述第一電極的邊緣的所述附加層可延伸至所述諧振部并連接至所述諧振部的所述第一電極。

所述附加層可設置在布置在所述布線區域中的所述第一電極的上表面的內部區域中。

所述附加層可包括：第一附加層和第二附加層，按順序設置在所述第一電極的上表面上。

所述附加層可布置在所述第一電極的下表面上。

所述附加層可利用絕緣材料和金屬中的一種形成。

所述附加層的蝕刻率可高于所述第一電極的蝕刻率。