[發明專利]傾斜運輸托盤的鍍膜設備

在審

• 申請號: 201910600414.0
• 申請日: 2019-07-04
• 公開（公告）號: CN110257793A
• 公開（公告）日: 2019-09-20
• 發明（設計）人: 盧賢政;陳厚模;陳麒麟
• 申請（專利權）人: 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247
• 代理人: 吳敏

1.一種鍍膜設備，包括：用于放置基板的托盤和運送托盤的傳輸軌道，其特征在于，所述傳輸軌道具有傾斜運輸段，所述傾斜運輸段設置有至少一個鍍膜裝置；

所述傾斜運輸段運送所述托盤時，所述托盤與水平面存在夾角θt，所述鍍膜裝置的給所述托盤中的基板投射鍍膜。

2.如權利要求1所述的鍍膜設備，其特征在于，所述傳輸軌道包括：第一傳輸段和位置高于所述第一傳輸段的第二傳輸段；所述傾斜運輸段連接在所述第一傳輸段和所述第二傳輸段之間，所述傾斜運輸段沿與水平面呈夾角θt的方向運送所述托盤。

3.如權利要求2所述的鍍膜設備，其特征在于，所述傾斜運輸段的上側設置有鍍膜裝置，所述傾斜運輸段上側的鍍膜裝置的開口朝向所述基板的上工作面；所述第二傳輸段的下方設置有給所述托盤中的基板投射鍍膜的鍍膜裝置，所述第二傳輸段下方的鍍膜裝置的開口朝向所述基板的下工作面。

4.如權利要求2所述的鍍膜設備，其特征在于，所述傾斜運輸段的上下兩側均設置有所述鍍膜裝置；所述傾斜運輸段上側的鍍膜裝置開口朝向所述基板的上工作面，所述傾斜運輸段下側的鍍膜裝置開口朝向所述基板的下工作面。

5.如權利要求4所述的鍍膜設備，其特征在于，所述傾斜運輸段上下兩側的兩個鍍膜裝置高度相同且開口朝向相對。

6.如權利要求1所述的鍍膜設備，其特征在于，所述傾斜運輸段包括：下軌線和設于所述下軌線斜上方的上軌線，所述傾斜運輸段沿水平方向運送托盤，所述托盤放置在所述傾斜運輸段時，所述托盤為與水平面呈夾角θt的傾斜狀態。

7.如權利要求6所述的鍍膜設備，其特征在于，所述傾斜運輸段的左右兩側均設置有所述鍍膜裝置；所述傾斜運輸段一側的鍍膜裝置開口朝向所述基板的上工作面，所述傾斜運輸段另一側的鍍膜裝置開口朝向所述基板的下工作面。

8.如權利要求7所述的鍍膜設備，其特征在于，所述傾斜運輸段左右兩側的兩個鍍膜裝置開口朝向相對。

9.如權利要求1至8任一項所述的鍍膜設備，其特征在于，所述鍍膜裝置的開口沿水平方向投射鍍膜或與水平面呈夾角傾斜投射鍍膜。

10.如權利要求1至8任一項所述的鍍膜設備，其特征在于，所述θt的范圍為1°至80°。