[發(fā)明專利]控制裝置、曝光裝置、以及制造物品的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910596648.2
• 申請日: 2019-07-04
• 公開（公告）號: CN110687756B
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 栗原孝史
• 申請（專利權(quán)）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 中國貿(mào)促會專利商標事務(wù)所有限公司 11038
• 代理人: 張勁松

本發(fā)明公開了控制裝置、曝光裝置、以及制造物品的方法。本發(fā)明提供了一種用于執(zhí)行同步控制的控制裝置，所述同步控制用于同步第二移動部件的驅(qū)動以便跟隨第一移動部件的驅(qū)動，所述控制裝置包括前饋控制系統(tǒng)，所述前饋控制系統(tǒng)包括計算器，所述計算器被配置為獲得彼此同步地驅(qū)動所述第一移動部件和第二移動部件時所述第一移動部件和第二移動部件的位置偏差、以及所述第二移動部件的輸入/輸出響應(yīng)，并且基于所述第一移動部件與第二移動部件之間的同步誤差以及所述第二移動部件的輸入/輸出響應(yīng)計算前饋操縱變量，所述第一移動部件與第二移動部件之間的同步誤差是從所述第一移動部件和第二移動部件的位置偏差獲得的。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及控制裝置、曝光裝置、以及制造物品的方法。

背景技術(shù)

作為用于制造半導體器件等的光刻裝置的一種的曝光裝置需要抑制在向目標位置移動諸如保持掩模版(reticle)(原版(original))或基板的臺架的移動部件(控制目標)時的位置偏差。為了實現(xiàn)這一點，日本專利No.5968017提出了一種向移動部件應(yīng)用基于移動部件的控制響應(yīng)和位置偏差生成的前饋表以抑制基于其生成前饋表的位置偏差的技術(shù)。

步進掃描曝光裝置(掃描儀)采用同步地驅(qū)動掩模版臺架和基板臺架的主(master)-從(slave)方法作為驅(qū)動掩模版臺架(第一移動部件)和基板臺架(第二移動部件)的方法。即使日本專利No.5968017中公開的技術(shù)被應(yīng)用于這樣的曝光裝置并且基于每個臺架的位置偏差生成的前饋表被應(yīng)用于每個臺架，也不可能抑制從設(shè)備側(cè)的臺架的位置偏差。另外，作為掩模版臺架的位置偏差與基板臺架的位置偏差之間的差值的同步誤差也變大。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種在抑制第一移動部件與第二移動部件之間的同步誤差上有利的控制裝置。

根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供一種用于執(zhí)行同步控制的控制裝置，所述同步控制用于同步第二移動部件的驅(qū)動以便跟隨第一移動部件的驅(qū)動，所述控制裝置包括：反饋控制系統(tǒng)，所述反饋控制系統(tǒng)被配置為對所述第一移動部件和第二移動部件中的每一個執(zhí)行反饋控制，以減小與目標位置的位置偏差；以及前饋控制系統(tǒng)，所述前饋控制系統(tǒng)被配置為通過向所述第二移動部件提供前饋操縱變量來執(zhí)行前饋控制，以減小在所述反饋控制被執(zhí)行的狀態(tài)下所述第一移動部件與第二移動部件之間的同步誤差，其中，所述前饋控制系統(tǒng)包括計算器，所述計算器被配置為獲得彼此同步地驅(qū)動所述第一移動部件和第二移動部件時所述第一移動部件和第二移動部件的位置偏差、以及所述第二移動部件的輸入/輸出響應(yīng)，并且基于所述第一移動部件與第二移動部件之間的同步誤差以及所述第二移動部件的輸入/輸出響應(yīng)計算所述前饋操縱變量，所述第一移動部件與第二移動部件之間的同步誤差是從所述第一移動部件和第二移動部件的位置偏差獲得的。

根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供一種用于控制包括多個驅(qū)動軸的移動部件的驅(qū)動的控制裝置，所述控制裝置包括：反饋控制系統(tǒng)，所述反饋控制系統(tǒng)被配置為關(guān)于所述移動部件沿第一驅(qū)動軸和第二驅(qū)動軸中的每一個的驅(qū)動執(zhí)行反饋控制，以減小所述移動部件與目標位置的位置偏差，所述第二驅(qū)動軸不同于所述第一驅(qū)動軸；以及前饋控制系統(tǒng)，所述前饋控制系統(tǒng)被配置為通過關(guān)于所述移動部件沿所述第二驅(qū)動軸的驅(qū)動向所述移動部件提供第一前饋操縱變量來執(zhí)行前饋控制，以減小在所述反饋控制被執(zhí)行的狀態(tài)下所述移動部件沿所述第一驅(qū)動軸的驅(qū)動對所述移動部件沿所述第二驅(qū)動軸的驅(qū)動的影響，其中，所述前饋控制系統(tǒng)包括計算器，所述計算器被配置為獲得關(guān)于沿所述第一驅(qū)動軸的驅(qū)動要被提供給所述移動部件的第二前饋操縱變量、對關(guān)于沿所述第一驅(qū)動軸的驅(qū)動的操縱變量的輸入的所述移動部件的所述第二驅(qū)動軸上的第一輸入/輸出響應(yīng)、以及對關(guān)于沿所述第二驅(qū)動軸的驅(qū)動的操縱變量的輸入的所述移動部件的所述第二驅(qū)動軸上的第二輸入/輸出響應(yīng)，并且基于所述第二前饋操縱變量、第一輸入/輸出響應(yīng)、以及第二輸入/輸出響應(yīng)計算所述第一前饋操縱變量。