[發明專利]掩膜板組件及其制備方法

有效

• 申請號: 201910596332.3
• 申請日: 2019-07-03
• 公開（公告）號: CN110129724B
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 張微;曹鵬
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 劉悅晗;陳源

本公開提供了一種掩膜板組件，該掩膜板組件包括框架，所述框架上設置有多個掩膜條，每個所述掩膜條上具有對應于待蒸鍍產品的蒸鍍區域的第一蒸鍍開口；相鄰兩個所述掩膜條之間具有間隔區域，所述間隔區域中設置有填充結構，所述填充結構上設置有對應于待蒸鍍產品的蒸鍍區域的第二蒸鍍開口。本公開還提供了掩膜板組件的制備方法。

技術領域

本公開實施例涉及顯示技術領域，特別涉及一種掩膜板組件及其制備方法。

背景技術

有機發光二極管(OLED)是繼液晶顯示器之后的新一代顯示產品，由于其較佳的色彩飽和度，快的響應速度，可折疊化，輕薄等性能，使其正在逐漸成為顯示領域的主流及引領者。然而，由于市場對平板(Pad)、折疊及車載產品的需求，屏幕尺寸越來越大成為必然趨勢。

隨著OLED市場占有率提高，平板、車載、折疊等大尺寸產品的需求越來越大，平板、車載、折疊等產品的屏幕尺寸將逐漸增大，手機產品也將不再局限于5寸、6寸等。相應的，這些產品的制備工藝中所采用的掩模板(如精細掩模板FMM)的寬度也必然會增寬，才能在掩模板上設置更多的像素開孔。

然而，FMM的寬度越寬，在工藝相同條件下，通常會使得FMM的制作良率下降，甚至很難制作(如FMM的寬度在400mm以上)，FMM的寬度越寬張網難度越大，尤其是使用多個夾爪(Gripper)進行張網工藝時，FMM的褶皺問題將很難克服，這些問題都將成為大尺寸顯示面板(Panel)制作的瓶頸。

發明內容

本公開實施例旨在至少解決上述現有技術中存在的技術問題之一，提供一種掩膜板組件及其制備方法。

第一方面，本公開實施例提供了一種掩膜板組件，該掩膜板組件包括框架，所述框架上設置有多個掩膜條，每個所述掩膜條上具有對應于待蒸鍍產品的蒸鍍區域的第一蒸鍍開口；

相鄰兩個所述掩膜條之間具有間隔區域，所述間隔區域中設置有填充結構，所述填充結構上設置有對應于待蒸鍍產品的蒸鍍區域的第二蒸鍍開口。

在一些實施例中，所述填充結構的厚度與所述掩膜條的厚度相同。

在一些實施例中，所述填充結構的材料為金屬材料。

在一些實施例中，所述填充結構的材料為鎳鐵合金材料。

在一些實施例中，所述掩膜條包括圖案區域和位于所述圖案區域的周邊的非圖案區域，所述掩膜條上的所述第一蒸鍍開口位于所述圖案區域，所述掩膜條的靠近所述間隔區域的非圖案區域設置有對應于待蒸鍍產品的蒸鍍區域的第三蒸鍍開口。

在一些實施例中，所述掩膜條為精細金屬掩膜條。

第二方面，本公開實施例提供了一種掩膜板組件的制備方法，該掩膜板組件包括前述任一實施例提供的掩膜板組件，該制備方法包括：

形成框架；

形成多個掩膜條，每個所述掩膜條上具有對應于待蒸鍍產品的蒸鍍區域的第一蒸鍍開口；

將多個掩膜條設置于所述框架上，相鄰兩個所述掩膜條之間具有間隔區域；

在相鄰兩個所述掩膜條之間的間隔區域中形成填充結構，所述填充結構上設置有對應于待蒸鍍產品的蒸鍍區域的第二蒸鍍開口。

在一些實施例中，所述在相鄰兩個所述掩膜條之間的間隔區域形成填充結構，包括：

在所述掩膜條的背離所述框架的一側形成基板；

在所述基板的背離所述掩膜條的一側，形成與所述間隔區域對應的磁性結構；

在所述基板的靠近所述掩膜條的一側，在所述間隔區域中形成填充結構材料層；

對所述填充結構材料層進行構圖工藝，形成具有對應于待蒸鍍產品的蒸鍍區域的第二蒸鍍開口的填充結構。