[發(fā)明專利]一種等軸狀β相氮化硅粉體的制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910592615.0 | 申請日： | 2019-07-03 |
| 公開（公告）號： | CN110357050B | 公開（公告）日： | 2023-03-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 尹傳強(qiáng);周浪;李曉敏;魏秀琴;蘭宇 | 申請（專利權(quán)）人： | 南昌大學(xué) |
| 主分類號： | C01B21/068 | 分類號： | C01B21/068 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 330031 江西省*** | 國省代碼： | 江西;36 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 氮化 硅粉體 制備 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種等軸狀β相氮化硅粉體的制備方法，其特征是按如下步驟：
（1）將粒徑大于0.8μm、小于2μm的硅粉和氟化鈣粉按如下比例進(jìn)行配料：硅粉：90-96wt%，氟化鈣粉：4-10wt%；
（2）將步驟（1）的配合料在混料機(jī)中混合均勻；
（3）將步驟（2）中混合均勻的粉料松裝于陶瓷匣缽內(nèi)，并放置于氣氛爐的高溫端；以高純氨氣100mL/min的流量排氣30分鐘，以5-10℃/min的升溫速率升至1250℃-1350℃，保溫1-10小時(shí)進(jìn)行氮化合成；隨爐冷卻，得到氮化硅合成產(chǎn)物；
（4）合成產(chǎn)物在質(zhì)量百分濃度為1%-5%的氫氟酸溶液下酸洗10-30min，之后用去離子水充分洗滌酸洗后的產(chǎn)物2-8遍，烘干后得到中位徑為0.1-0.6μm、氧含量小于1wt%的等軸狀β相氮化硅粉體；
步驟（3）所述高純氨氣純度≥99.99%。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等軸狀β相氮化硅粉體的制備方法，其特征是所述混合料混合時(shí)間為2-10小時(shí)。
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