[發明專利]金剛線切割硅片的方法有效
| 申請號： | 201910578437.6 | 申請日： | 2019-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN110142886B | 公開（公告）日： | 2021-04-06 |
| 發明（設計）人： | 周文廣 | 申請（專利權）人： | 阜寧協鑫光伏科技有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/04 | 分類號： | B28D5/04;B24B27/06 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凱 |
| 地址： | 224400 江蘇省鹽*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金剛 切割 硅片 方法 | ||
1.一種金剛線切割硅片的方法，其特征在于，包括以下步驟：
將粘附有硅塊的晶托安裝于金剛線線網上方的工作臺上；
下壓工作臺，同時導輪帶動金剛線運動，對硅塊進行切割；
其中，所述金剛線的運動過程包括往復段，在所述金剛線處于所述往復段的運動過程中，所述金剛線的線速度為1680m/min-1799m/min、1801m/min-1999m/min或2001m/min-2500m/min，所述金剛線的加速度為2m/s2-3.99m/s2或4.01m/s2-6m/s2；
所述金剛線的直徑為48μm-52μm。
2.根據權利要求1所述的金剛線切割硅片的方法，其特征在于，所述硅塊的靠近所述工作臺的一側形成有倒角，當所述金剛線切割至所述倒角處時，所述金剛線的線速度下降至1200m/min-1500m/min。
3.根據權利要求1所述的金剛線切割硅片的方法，其特征在于，所述金剛線的線速度為2001m/min-2100m/min。
4.根據權利要求1所述的金剛線切割硅片的方法，其特征在于，所述金剛線上金剛石粉的顆粒密度為251粒/mm-349粒/mm。
5.根據權利要求1所述的金剛線切割硅片的方法，其特征在于，所述金剛線的切割張力為4N-6N。
6.根據權利要求1所述的金剛線切割硅片的方法，其特征在于，在切割過程中，利用切割液對所述金剛線進行潤滑和冷卻，其中，所述切割液的濃度為0.5％-0.599％、0.601％-0.999％、1.001％-1.299％、或1.301％-1.5％。
7.根據權利要求6所述的金剛線切割硅片的方法，其特征在于，利用引流板對所述切割液進行引流，其中，所述引流板與所述金剛線線網之間的距離為4mm-5.99mm或6.01-10mm。
8.根據權利要求1所述的金剛線切割硅片的方法，其特征在于，所述工作臺的下壓速度為0mm/min-4mm/min。
9.根據權利要求1所述的金剛線切割硅片的方法，其特征在于，所述導輪的槽距為220μm-280μm。
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