[發(fā)明專利]硅片分選機

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910575758.0
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN110180798A
• 公開（公告）日: 2019-08-30
• 發(fā)明（設計）人: 蔣旭
• 申請（專利權）人: 阜寧協(xié)鑫光伏科技有限公司
• 主分類號: B07C5/34
• 分類號: B07C5/34;B07C5/38
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 閆曉欣

本發(fā)明涉及一種硅片分選機，包括：硅片傳送裝置；臟污檢測工位，具有用以掃描硅片的臟污模組；以及控制系統(tǒng)，用以接收所述臟污模組的掃描信息，并根據(jù)所述臟污模組的掃描信息判斷硅片是否存在碎片異常；當連續(xù)預設個硅片被檢測為存在碎片異常時，所述控制系統(tǒng)控制所述硅片傳送裝置停止運行。上述硅片分選機，控制系統(tǒng)可以通過臟污模組掃描硅片獲得的信息，判斷硅片是否存在碎片異常。當連續(xù)預設個硅片被檢測為存在碎片異常時，則可判斷有破碎的硅片落至臟污模組上。此時通過控制系統(tǒng)控制硅片傳送裝置停止運行，以方便操作人員對臟污模組進行清理，以避免因破碎的硅片導致后續(xù)具有臟污現(xiàn)象的硅片漏檢，從而有效提高檢測合格的硅片的良率。

技術領域

本發(fā)明涉及硅片分選領域，特別是涉及一種硅片分選機。

背景技術

硅片分選機用以在硅片制作完成后對硅片進行檢測，其中包括對表面臟污的硅片進行篩選。

一般的，通過臟污模組對硅片進行掃描。臟污模組將掃描信息傳遞給控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)根據(jù)臟污模組的掃描信息判斷硅片表面是否存在臟污現(xiàn)象。然而，在硅片的生產、清洗或運輸?shù)冗^程中，難以避免的會導致硅片碎片現(xiàn)象。當破碎的硅片部分或全部落在臟污模組上時，必將遮擋光源，導致具有臟污現(xiàn)象的硅片難以被檢測到，影響檢測合格的硅片的良率。

發(fā)明內容

基于此，有必要提供一種可以有效提高檢測合格的硅片的良率的硅片分選機。

一種硅片分選機，包括：

硅片傳送裝置；

臟污檢測工位，具有用以掃描硅片的臟污模組；以及

控制系統(tǒng)，用以接收所述臟污模組的掃描信息，并根據(jù)所述臟污模組的掃描信息判斷硅片是否存在碎片異常；當連續(xù)預設個硅片被檢測為存在碎片異常時，所述控制系統(tǒng)控制所述硅片傳送裝置停止運行。

上述硅片分選機，控制系統(tǒng)可以通過臟污模組掃描硅片獲得的信息，判斷硅片是否存在碎片異常。當連續(xù)預設個硅片被檢測為存在碎片異常時，則可判斷有破碎的硅片落至臟污模組上。此時通過控制系統(tǒng)控制硅片傳送裝置停止運行，以方便操作人員對臟污模組進行清理，以避免因破碎的硅片導致后續(xù)更多的具有臟污現(xiàn)象的硅片漏檢，從而有效提高檢測合格的硅片的良率。

在其中一個實施例中，當連續(xù)預設個硅片被判斷為存在碎片異常時，所述控制系統(tǒng)控制所述硅片分選機停機。

在其中一個實施例中，當所述臟污模組為電荷耦合器件圖像傳感器。

在其中一個實施例中，當連續(xù)五個硅片被判斷為存在碎片異常后，所述控制系統(tǒng)控制所述硅片傳送裝置停止運行。

在其中一個實施例中，當還包括警報裝置；當連續(xù)預設個硅片被檢測為存在碎片異常時，所述控制系統(tǒng)可發(fā)送信號給所述警報裝置以發(fā)出警報。

在其中一個實施例中，當所述警報裝置為聲音警報器。

在其中一個實施例中，當還包括顯示屏；當連續(xù)預設個硅片被檢測為存在碎片異常時，所述控制系統(tǒng)發(fā)送信號給所述顯示屏，以使所述顯示屏彈出報警對話框。

在其中一個實施例中，當還包括與所述硅片傳送裝置對接的待復測硅片收集容器；當連續(xù)預設個硅片被檢測為存在碎片異常時，所述控制系統(tǒng)控制所述硅片傳送裝置將連續(xù)預設個被檢測為存在碎片異常的硅片傳送至所述待復測硅片收集容器。

在其中一個實施例中，還包括第一碎片檢測工位；所述硅片傳送裝置可將第一碎片檢測工位檢測合格的硅片運輸至所述臟污檢測工位。

在其中一個實施例中，還包括第二碎片檢測工位，所述硅片傳送裝置可將所述臟污檢測工位檢測存在碎片異常的硅片運輸至所述第二碎片檢測工位。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一實施例提供的硅片分選機的俯視示意圖。