[發明專利]硅片分選機在審
| 申請號: | 201910575758.0 | 申請日: | 2019-06-28 |
| 公開(公告)號: | CN110180798A | 公開(公告)日: | 2019-08-30 |
| 發明(設計)人: | 蔣旭 | 申請(專利權)人: | 阜寧協鑫光伏科技有限公司 |
| 主分類號: | B07C5/34 | 分類號: | B07C5/34;B07C5/38 |
| 代理公司: | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人: | 閆曉欣 |
| 地址: | 224400 江蘇省鹽*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 硅片 臟污 模組 控制系統 硅片傳送 分選機 檢測 掃描信息 裝置停止 預設 破碎 掃描 方便操作 工位 良率 漏檢 | ||
1.一種硅片分選機,其特征在于,包括:
硅片傳送裝置;
臟污檢測工位,具有用以掃描硅片的臟污模組;以及
控制系統,用以接收所述臟污模組的掃描信息,并根據所述臟污模組的掃描信息判斷硅片是否存在碎片異常;當連續預設個硅片被檢測為存在碎片異常時,所述控制系統控制所述硅片傳送裝置停止運行。
2.根據權利要求1所述的硅片分選機,其特征在于,當連續預設個硅片被判斷為存在碎片異常時,所述控制系統控制所述硅片分選機停機。
3.根據權利要求1所述的硅片分選機,其特征在于,所述臟污模組為電荷耦合器件圖像傳感器。
4.根據權利要求3所述的硅片分選機,其特征在于,當連續五個硅片被判斷為存在碎片異常時,所述控制系統控制所述硅片傳送裝置停止運行。
5.根據權利要求1所述的硅片分選機,其特征在于,還包括警報裝置;當連續預設個硅片被檢測為存在碎片異常時,所述控制系統可發送信號給所述警報裝置以發出警報。
6.根據權利要求5所述的硅片分選機,其特征在于,所述警報裝置為聲音警報器。
7.根據權利要求1所述的硅片分選機,其特征在于,還包括顯示屏;當連續預設個硅片被檢測為存在碎片異常時,所述控制系統發送信號給所述顯示屏,以使所述顯示屏彈出報警對話框。
8.根據權利要求1所述的硅片分選機,其特征在于,還包括與所述硅片傳送裝置對接的待復測硅片收集容器;當連續預設個硅片被檢測為存在碎片異常時,所述控制系統控制所述硅片傳送裝置將連續的預設個被檢測為存在碎片異常的硅片傳送至所述待復測硅片收集容器。
9.根據權利要求1所述的硅片分選機,其特征在于,還包括第一碎片檢測工位;所述硅片傳送裝置可將第一碎片檢測工位檢測合格的硅片運輸至所述臟污檢測工位。
10.根據權利要求9所述的硅片分選機,其特征在于,還包括第二碎片檢測工位,所述硅片傳送裝置可將所述臟污檢測工位檢測存在碎片異常的硅片運輸至所述第二碎片檢測工位。
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