[發明專利]一種多元合金靶材、多元金屬/氮化物復合涂層及其制備方法有效
| 申請號: | 201910575465.2 | 申請日: | 2019-06-28 |
| 公開(公告)號: | CN110257780B | 公開(公告)日: | 2021-07-06 |
| 發明(設計)人: | 孫志平;孟慶杰;田曉東;袁戰偉;李玉琴;何光宇;陳永楠 | 申請(專利權)人: | 長安大學 |
| 主分類號: | C23C14/32 | 分類號: | C23C14/32;C22C14/00;C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司: | 西安睿通知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 61218 | 代理人: | 惠文軒 |
| 地址: | 710064 *** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 多元 合金 金屬 氮化物 復合 涂層 及其 制備 方法 | ||
1.一種多元金屬/氮化物復合涂層的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
步驟1,對鈦合金基體進行離子轟擊清洗,得到清洗后的鈦合金基體;采用多弧離子鍍在清洗后的鈦合金基體上沉積多元金屬,得到多元金屬層;
所述采用多弧離子鍍在清洗后的鈦合金基體上沉積多元金屬,其具體為:多弧離子鍍的真空室的溫度為220~240℃,以Ti-Al-Cr-Zr-Mo多元合金靶材作為陰極,脈沖偏壓值為-300V,氬氣的壓力為3.0×10-1Pa,靶材的電流為40~60A;
所述Ti-Al-Cr-Zr-Mo合金中各金屬的原子百分比為:0.65:0.22:0.05:0.05:0.03;
步驟2,在多元金屬層上沉積氮化物,得到多元金屬/氮化物復合涂層;
所述在多元金屬層上沉積氮化物為:以氮氣流量為80~140sccm向多弧離子鍍的真空室內充入氮氣;
所述沉積多元金屬與沉積氮化物所需的總時間為60~105min;
所述沉積多元金屬的時間與所述沉積氮化物的時間之比為1/6~1/4。
2.根據權利要求1所述的多元金屬/氮化物復合涂層的制備方法,其特征在于,步驟1中,所述離子轟擊清洗的氣源為氬氣,壓力為1.0Pa,離子轟擊清洗的電壓大于800V,溫度為220~240℃,時間為20min。
3.一種多元金屬/氮化物復合涂層,基于權利要求1-2中任一項所述的多元金屬/氮化物復合涂層的制備方法,其特征在于,以鈦合金為基體材料,以Ti-Al-Cr-Zr-Mo多元合金為靶材,包括沿基體材料依次生長的Ti-Al-Cr-Zr-Mo金屬層和Ti(AlCrZrMo)N氮化物層。
4.根據權利要求3所述的多元金屬/氮化物復合涂層,其特征在于,所述多元金屬/氮化物復合涂層包含一組或多組Ti-Al-Cr-Zr-Mo金屬層和Ti(AlCrZrMo)N氮化物層。
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