[發明專利]一種提高電池片效率的擴散工藝

在審

• 申請號: 201910574787.5
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN110379885A
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 王奎;夏中雪;吳仕梁;路忠林;張鳳鳴
• 申請（專利權）人: 徐州谷陽新能源科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/225;H01L31/068
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 賀翔

本發明提供一種提高電池片效率的擴散工藝，消除了磷元素梯度沉積的影響，減少反應前區磷在氧化層中的沉積，使得更多的磷能夠被氮氣帶入到反應后區，同時PN結的物理性質同時受推結時間和推結溫度的影響，第三步補源在低溫狀態進行，避免過多間隙式擴散增加死層。本發明工藝提出了一種用于非SE的太陽能電池片的可規模化，低成本的量產方法。

技術領域

本發明涉及光伏電池生產技術領域，尤其涉及一種提高電池片效率的擴散工藝。

背景技術

目前市場中的太陽能非SE電池片普遍采用的“兩步沉積（通源）+高溫推結”工藝，阻值控制在80-90Ω之間。在此基礎上，本公司也開展了擴散新工藝模式的研究，研發出“兩步沉積+高溫推結+一步降溫補源”工藝模式，這種技術的設計初衷是減少磷的擴散濃度，以此降低少子復合速率，再采用第三次低溫補源構造適當濃摻雜區域，用以降低與金屬柵線接觸的電阻。而降低了磷摻雜量、加入了第三步低溫補源，最直接的影響就是在方阻持平或略高的情況下提高了電池片的開壓、電流及效率（0.1%以上）。

發明內容

針對上述技術問題，本發明旨在提出一種新的提高電池片效率的擴散工藝，提高當前生產的太陽能電池片的效率，提高高效檔位占比。

本發明提出一種提高電池片效率的擴散工藝，包括以下步驟：

1.將待擴散的硅片放于擴散爐中，升溫至780℃；

2.待溫度穩定后，將爐內各溫區的溫度升至780-795℃，同時通入400sccm N₂,1200sccm O₂和500sccm用于攜帶POCl₃的N₂（暫不通磷源、PC計管路沖洗），時間為300s；

3.繼續將爐內各溫區的溫度控制在780-795℃，同時通入650sccm N₂,700sccm O₂和750sccm攜帶POCl₃的N₂，時間為300s；

4.溫度穩定后，將爐內各溫區的溫度升至800-815℃，同時通入1600sccm N₂,500sccm用于攜帶POCl₃的N₂（暫不通磷源），時間為300s；

5.繼續將爐內各溫區的溫度控制在800-815℃，同時通入650sccm N₂,700sccm O₂和750sccm攜帶POCl₃的N₂，時間為250s；

6.將爐內各溫區的溫度升至820-835℃，通入1600sccm N₂,500sccm用于攜帶POCl₃的N₂（暫不通磷源），時間為300s；

7.將爐內各溫區的溫度升至840-855℃，通入2100sccm N₂,時間為300s；

8.將爐內各溫區的溫度升至850-865℃，通入2100sccm N₂,時間為300s

9.將爐內各溫區的溫度降至810-825℃，通入600sccm N₂,1000sccm O_2和500sccm用于攜帶POCl₃的N₂（暫不通磷源），時間為600s；

10.繼續將爐內各溫區的溫度控制在810-825℃，通入650sccm N₂,800sccm O₂和500sccm攜帶POCl₃的N₂，時間為360s；

繼續降溫，回壓，取出硅片。