[發明專利]利用多區域循環及過濾的氣體封閉系統和方法

有效

• 申請號: 201910574287.1
• 申請日: 2015-07-16
• 公開（公告）號: CN110281668B
• 公開（公告）日: 2021-04-27
• 發明（設計）人: J.莫克;A.S-K.柯;E.弗龍斯基;P.尹加;潘榮光
• 申請（專利權）人: 科迪華公司
• 主分類號: B41J29/377
• 分類號: B41J29/377;B41J2/01;B41J29/02;B41J29/06;H01L51/56;B01D46/00
• 代理公司: 北京坦路來專利代理有限公司 11652
• 代理人: 索翌

本教導涉及氣體封閉系統的各種實施例，該氣體封閉系統可具有顆粒控制系統，該顆粒控制系統可包括多區域氣體循環和過濾系統、用于使打印頭組件相對于基底移動的低顆粒產生的X軸線性軸承系統、服務束殼體排氣系統以及打印頭組件排氣系統。顆粒控制系統的各種部件可包括隧道循環和過濾系統，該隧道循環和過濾系統可與橋循環和過濾系統流動連通。隧道循環和過濾系統的各種實施例可提供圍繞打印系統的浮動臺的氣體的交叉流動循環和過濾。氣體封閉系統的各種實施例可具有橋循環和過濾系統，該橋循環和過濾系統可提供圍繞打印系統橋與相關設備和裝置的氣體循環和過濾。

相關案件的交叉引用

本申請要求于2014年7月18日提交的美國臨時申請序列號62/026,242和2014年8月7日提交的美國臨時申請序列號62/034,718的權益，其全部內容以引用方式并入本文。

背景技術

對有機發光二極管（OLED）顯示技術的潛力的興趣由OLED顯示技術屬性驅動，該OLED顯示技術屬性包括顯示面板的展示，該顯示面板具有高度飽和顏色，是高對比度、超薄、快速響應以及高效節能的。此外，包括柔性聚合物材料的多種基底材料可用于OLED顯示技術的制造中。盡管針對小屏幕應用（主要針對手機）的顯示器的展示已用于強調該技術的潛力，但在以高成品率跨越一系列基底幅面對大批量制造進行比例調整方面仍存在挑戰。

關于幅面的比例調整，Gen 5.5基底具有大約130cm×150cm的尺寸，并且可生產大約八塊26”平板顯示器。相比之下，較大幅面的基底可包括使用Gen 7.5和Gen 8.5母玻璃基底尺寸。Gen 7.5母玻璃具有大約195cm×225cm的尺寸，并且可被切割成每個基底八塊42平板顯示器或六塊47”平板顯示器。用于Gen 8.5的母玻璃為大約220cm×250cm，并且可被切割成每個基底六塊55”平板顯示器或八塊46”平板顯示器。在將OLED顯示器制造比例調整至較大幅面中存在的挑戰的一個跡象在于：在大于Gen 5.5基底的基底上以高成品率大批量制造OLED顯示器已被證實在很大程度上具有挑戰性。

原則上，OLED裝置可以通過使用OLED打印系統在基底上打印各種有機薄膜以及其他材料來制造。這樣的有機材料可能易于受到氧化和其他化學過程的損害。以可針對各種基底尺寸進行比例調整并且可在惰性、基本上低顆粒打印環境中進行的方式容納OLED打印系統可能存在多種工程挑戰。用于大生產量的大幅面基底打印（諸如Gen 7.5和Gen 8.5基底的打印）的制造工具需要相當大的設施。因此，將大的設施維持在惰性氣氛下（需要氣體凈化以去除反應性大氣物質（諸如水蒸汽、氧氣和臭氧）以及有機溶劑蒸汽）以及維持基本上低顆粒打印環境已被證實是顯著具有挑戰性的。

因此，在以高成品率跨越一系列基底幅面比例調整OLED顯示技術的大批量制造方面仍存在挑戰。因此，需要本教導的氣體封閉系統的各種實施例，其可在惰性、基本上低顆粒的環境中容納OLED打印系統，并且可被容易地比例調整以用于在多種基底尺寸和基底材料上制造OLED面板。此外，本教導的各種氣體封閉系統可使得在處理期間易于從外部接近OLED打印系統且易于接近內部，以便用最小的停機時間進行維護。

附圖說明

通過參考附圖，將獲得對本公開的特征和優點的更好的理解，這些附圖旨在說明而非限制本教導。

圖1A是根據本教導的各種實施例的氣體封閉組件的視圖的正面透視圖。圖1B描繪了如圖1A中所描繪的氣體封閉組件的各種實施例的分解視圖。圖1C描繪了圖1B中描繪的打印系統的展開等距透視圖。

圖2是根據本教導的各種實施例的靠近裝有攝像機的打印系統中的打印區域的基底的放置的等距透視圖。

圖3A和圖3B為本教導的氣體封閉組件和相關系統部件的各種實施例的示意性正面橫截面圖。

圖4是在圖3B中指示的一部分的放大示意性正面橫截面圖。

圖5A是根據本教導的各種實施例的氣體封閉系統的示意性俯視截面圖。圖5B是根據本教導的各種實施例的氣體封閉系統的視圖的長區段示意圖。