[發明專利]利用多區域循環及過濾的氣體封閉系統和方法

有效

• 申請號: 201910574287.1
• 申請日: 2015-07-16
• 公開（公告）號: CN110281668B
• 公開（公告）日: 2021-04-27
• 發明（設計）人: J.莫克;A.S-K.柯;E.弗龍斯基;P.尹加;潘榮光
• 申請（專利權）人: 科迪華公司
• 主分類號: B41J29/377
• 分類號: B41J29/377;B41J2/01;B41J29/02;B41J29/06;H01L51/56;B01D46/00
• 代理公司: 北京坦路來專利代理有限公司 11652
• 代理人: 索翌

1.一種用于打印的系統，包括：

打印系統，包括：

支撐基底的基底支撐設備，

安裝到所述基底支撐設備之上的打印頭組件；

限定內部的氣體封閉部，其中所述打印系統位于所述氣體封閉部的所述內部中；以及

多區域氣體循環和過濾系統，其使氣體沿著第一氣體循環路徑圍繞所述基底支撐設備循環，并使氣體沿著第二氣體循環路徑圍繞所述打印頭組件循環，其中所述多區域氣體循環和過濾系統包括在所述第一氣體循環路徑中過濾氣體的第一過濾器單元和在所述第二氣體循環路徑中過濾氣體的第二過濾器單元。

2.根據權利要求1所述的系統，還包括：

包括所述第一過濾器單元的第一風扇過濾器單元；和

包括所述第二過濾器單元的第二風扇過濾器單元。

3.根據權利要求2所述的系統，還包括：

第一熱交換器，其設置在所述第一氣體循環路徑中，在所述第一風扇過濾器單元的下游；和

第二熱交換器，其設置在所述第二氣體循環路徑中，在所述第二風扇過濾器單元的下游。

4.根據權利要求1所述的系統，還包括入口擋板，其配置成沿著所述第一氣體循環路徑引導氣體。

5.根據權利要求1所述的系統，還包括配置在所述第一氣體循環路徑中的擴散器。

6.根據權利要求1所述的系統，還包括運動系統，其向被所述基底支撐設備支撐的基底提供Y軸方向的運動。

7.根據權利要求6所述的系統，其中所述第一氣體循環路徑是沿垂直于所述Y軸方向的方向延伸的交叉流動循環路徑。

8.根據權利要求1所述的系統，其中所述多區域氣體循環和過濾系統構造成，使氣體從所述第一氣體循環路徑沿著過渡區域流動路徑流動到所述第二氣體循環路徑。

9.根據權利要求8所述的系統，其中所述第二氣體循環路徑沿向上方向從所述過渡區域流動路徑圍繞滑架組件延伸，所述滑架組件將所述打印頭組件安裝到所述基底支撐設備之上的橋。

10.根據權利要求1所述的系統，還包括回流管，其定位成將氣體從所述第二氣體循環路徑引導到所述第一氣體循環路徑。

11.根據權利要求1所述的系統，還包括在所述基底支撐設備上方延伸的橋，所述打印頭組件可運動地安裝到所述橋。

12.根據權利要求11所述的系統，還包括線性空氣軸承系統，以可運動地將所述打印頭組件安裝到所述橋。

13.根據權利要求11所述的系統，還包括運動系統，以使所述基底沿垂直于所述打印頭組件沿著所述橋的運動方向的方向運動。

14.根據權利要求1所述的系統，其中所述氣體封閉部包括圍繞所述基底支撐設備的第一封閉區段和圍繞所述打印系統的橋的第二封閉區段，所述打印頭組件可運動地安裝到所述橋。

15.根據權利要求14所述的系統，其中：

所述第一氣體循環路徑限定在所述第一封閉區段中；并且

所述第二氣體循環路徑限定在所述第二封閉區段中。

16.根據權利要求1所述的系統，其中所述第二氣體循環路徑延伸通過排氣管，該排氣管容納操作地聯接到所述打印系統的服務束。

17.根據權利要求1所述的系統，其中所述多區域氣體循環和過濾系統構造成，提供低顆粒環境，對于在尺寸上大于或等于2μm的顆粒而言，所述低顆粒環境滿足每分鐘每平方米的基底小于或等于100個顆粒的基底上沉積速率規格。