[發明專利]超聲波接合頭、超聲波接合裝置及超聲波接合方法

有效

• 申請號: 201910573891.2
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN110660692B
• 公開（公告）日: 2023-08-15
• 發明（設計）人: 須永誠壽郎;宮腰敏暢;大友龍矩
• 申請（專利權）人: TDK株式會社
• 主分類號: H01L21/607
• 分類號: H01L21/607;B29C65/08;B06B3/02
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

1.一種超聲波接合頭，其特征在于，

具有：

振子單元，在長邊軸的前端側形成有被推到應接合的接合預定部分的按壓部；

保持部，其以沿著所述長邊軸，所述振子單元的前端成為自由端的方式沿著所述振子單元的所述長邊軸以懸臂梁狀保持基端側；

加壓軸，其以所述振子單元沿著與所述長邊軸大致垂直的垂直軸移動的方式與所述保持部連結，傳遞將所述按壓部壓附到所述接合預定部分的力，

在所述保持部具備抑制部，所述抑制部在處于從所述保持部保持所述振子單元的主保持位置沿著所述長邊軸朝向所述振子單元的自由端的中途的反作用力分散位置上與所述振子單元抵接，

所述保持部還具有在沿著所述長邊軸與所述主保持位置不同的副保持位置上保持覆蓋所述振子單元的振動源的罩的輔助保持部。

2.根據權利要求1所述的超聲波接合頭，其特征在于，

所述抑制部被安裝于所述保持部，使得在距所述振子單元的自由端最近的振動節點的位置上所述抑制部與所述振子單元抵接。

3.根據權利要求1或2所述的超聲波接合頭，其特征在于，

所述抑制部與所述振子單元抵接的位置和所述按壓部與所述接合預定部分抵接的位置沿著所述長邊軸不同，而且位于所述長邊軸的相互相反側。

4.根據權利要求1或2所述的超聲波接合頭，其特征在于，

以所述加壓軸的軸芯與所述垂直軸大致平行，且位于所述主保持位置和所述反作用力分散位置之間的方式，所述加壓軸與所述保持部連結。

5.根據權利要求1或2所述的超聲波接合頭，其特征在于，

所述振子單元以所述按壓部在平行于所述長邊軸的方向上進行超聲波振動的方式在所述振子單元安裝有振動源。

6.根據權利要求1或2所述的超聲波接合頭，其特征在于，

對與所述振子單元抵接的所述抑制部的表面施以提高沿著所述長邊軸的相對移動的低摩擦處理。

7.一種超聲波接合頭，其特征在于，

具有：

振子單元，在長邊軸的前端側形成有被推到應接合的接合預定部分的按壓部；

保持部，其以沿著所述長邊軸，所述振子單元的前端成為自由端的方式沿著所述振子單元的所述長邊軸以懸臂梁狀保持基端側；

加壓軸，其以所述振子單元沿著與所述長邊軸大致垂直的垂直軸移動的方式與所述保持部連結，傳遞將所述按壓部壓附到所述接合預定部分的力，

在將所述保持部主要保持所述振子單元的位置設為主保持位置，將在所述保持部具備的抑制部與所述振子單元抵接的位置設為反作用力分散位置的情況下，

沿著所述振子單元的長邊軸，從所述振子單元的前端朝向基端，所述主保持位置和所述反作用力分散位置按該順序配置。

8.一種超聲波接合裝置，其特征在于，

具有權利要求1～7中任一項所述的超聲波接合頭。

9.一種超聲波接合方法，其特征在于，

使用權利要求1～7中任一項所述的超聲波接合頭，對接合預定部分進行超聲波接合。

10.一種超聲波接合方法，其特征在于，

具有：

以沿著長邊軸，振子單元的前端成為自由端的方式通過保持部沿著所述振子單元的所述長邊軸以懸臂梁狀保持基端側的工序；

將在振子單元的前端具備的按壓部推到應接合的接合預定部分，使該按壓部在所述長邊軸方向上進行超聲波振動的工序，

在將所述保持部主要保持所述振子單元的位置設為主保持位置，將在所述保持部具備的抑制部與所述振子單元抵接的位置設為反作用力分散位置，將所述保持部保持覆蓋所述振子單元的振動源的罩的輔助保持部的位置設為副保持位置的情況下，

在所述振子單元，沿著所述長邊軸存在3個振動節點，

所述主保持位置、所述反作用力分散位置和所述副保持位置定位于相互不同的所述振動節點的位置。