[發(fā)明專利]減壓干燥裝置、基板處理裝置以及減壓干燥方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910573055.4
• 申請(qǐng)日: 2019-06-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110779280B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-07-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 辻雅夫;西岡賢太郎;高村幸宏;實(shí)井祐介
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社斯庫(kù)林集團(tuán)
• 主分類號(hào): F26B5/04
• 分類號(hào): F26B5/04;G03F7/38
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 向勇;宋曉寶

本發(fā)明提供一種即使在排氣量小的情況下，也能夠高精度地調(diào)節(jié)減壓速度的技術(shù)。在本發(fā)明的減壓干燥裝置中，將腔室(20)內(nèi)和泵(30)連接的排氣配管部(40)具有在腔室和泵之間并列配置的大徑配管(44)和小徑配管(45)。小徑配管的管徑比大徑配管的管徑小。在減壓干燥處理中，控制部能夠在小徑閥控制模式和大徑閥控制模式之間進(jìn)行切換，在小徑閥控制模式中，使大徑閥(440)的開(kāi)度固定并調(diào)節(jié)小徑閥(450)的開(kāi)度，在大徑閥控制模式中，調(diào)節(jié)大徑閥的開(kāi)度。由此，在減壓排氣量小的情況下，能夠通過(guò)調(diào)節(jié)小徑閥的開(kāi)度而高精度地調(diào)節(jié)流路面積。在減壓排氣量大的情況下，通過(guò)調(diào)節(jié)能夠大幅調(diào)節(jié)流路面積的大徑閥的開(kāi)度，能夠響應(yīng)性良好地調(diào)節(jié)減壓速度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種對(duì)附著有處理液的基板進(jìn)行減壓干燥的技術(shù)。

背景技術(shù)

以往，在半導(dǎo)體晶片、液晶顯示裝置、有機(jī)電致發(fā)光(Electroluminescence：EL)顯示裝置等平板顯示器(Flat Panel Display：FPD)用基板、光掩模用玻璃基板、濾色片用基板、記錄盤(pán)用基板、太陽(yáng)能電池用基板、電子紙用基板等精密電子裝置用基板的制造工序中，為了使涂敷在基板上的處理液干燥，使用減壓干燥裝置。這樣的減壓干燥裝置具有容納基板的腔室和排出腔室內(nèi)的氣體的排氣裝置。關(guān)于現(xiàn)有的減壓干燥裝置，例如專利文獻(xiàn)1的記載。

在使涂敷于基板的光致抗蝕劑等處理液干燥而形成薄膜的情況下，若進(jìn)行急劇的減壓，則有可能發(fā)生突沸(爆沸)。突沸是由于涂敷于基板表面的光致抗蝕劑中的溶劑成分急劇蒸發(fā)而產(chǎn)生的。若在減壓干燥處理中發(fā)生突沸，則會(huì)發(fā)生在光致抗蝕劑的表面形成小的氣泡的脫泡現(xiàn)象。因此，在減壓干燥處理中，在初始階段不使腔室內(nèi)急劇減壓，需要階段性地進(jìn)行減壓。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2006-261379號(hào)公報(bào)

為了階段性地變更腔室內(nèi)的壓力，需要調(diào)節(jié)減壓速度。在專利文獻(xiàn)1所記載的減壓干燥裝置中，在減壓處理中，通過(guò)一邊排出腔室內(nèi)的氣體，一邊向腔室內(nèi)供給非活性氣體，從而調(diào)節(jié)減壓速度。另外，為了適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)減壓速度，在非活性氣體的供給源和腔室之間設(shè)置有能夠多階段地變更開(kāi)度的閥。另外，作為調(diào)節(jié)腔室內(nèi)的減壓速度的其他方法，也可以在腔室和排氣裝置之間設(shè)置能夠多階段地變更開(kāi)度的閥，從而調(diào)節(jié)從腔室的排氣量。在該情況下，能夠階段性地調(diào)節(jié)從腔室的排氣量。

在變更閥的開(kāi)度來(lái)調(diào)節(jié)從腔室的排氣量的情況下，根據(jù)閥的流路面積來(lái)決定排氣量。與開(kāi)度的大小無(wú)關(guān)，閥的開(kāi)度的調(diào)節(jié)精度大致恒定。即，在開(kāi)度大且排氣量大的情況和開(kāi)度小且排氣量小的情況下，排氣量的調(diào)節(jié)精度大致恒定。然而，如上述的減壓干燥處理的初始階段那樣，在排氣量小時(shí)，特別需要高精度地調(diào)節(jié)減壓速度。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明鑒于上述的情況而提出，其目的在于，提供一種在具有能夠變更開(kāi)度的閥的減壓干燥裝置中，在排氣量小的情況下，也能夠高精度地調(diào)節(jié)減壓速度的技術(shù)。

為了解決上述課題，本申請(qǐng)的第一發(fā)明是一種減壓干燥裝置，對(duì)附著有處理液的基板進(jìn)行減壓干燥，其中，所述減壓干燥裝置包括：腔室，容納所述基板，并在所述基板的周?chē)纬商幚砜臻g；泵，對(duì)所述腔室內(nèi)的氣體進(jìn)行吸引排氣；排氣配管部，將所述腔室內(nèi)和所述泵進(jìn)行流路連接；以及控制部，控制各部的動(dòng)作，所述排氣配管部包括：大徑配管，安裝有大徑閥；以及小徑配管，安裝有管徑比所述大徑閥的管徑小的小徑閥，所述大徑閥和所述小徑閥分別能夠通過(guò)變更開(kāi)度來(lái)變更配管內(nèi)的流路面積，所述大徑配管和所述小徑配管在所述腔室和所述泵之間并列配置，所述控制部在減壓干燥處理中，能夠在小徑閥控制模式和大徑閥控制模式之間進(jìn)行切換，在所述小徑閥控制模式中，使大徑閥的開(kāi)度固定并調(diào)節(jié)所述小徑閥的開(kāi)度，在所述大徑閥控制模式中，調(diào)節(jié)所述大徑閥的開(kāi)度。

本申請(qǐng)的第二發(fā)明，在第一發(fā)明的減壓干燥裝置中，所述控制部在減壓干燥處理中，首先執(zhí)行所述小徑閥控制模式，然后執(zhí)行大徑閥控制模式。

本申請(qǐng)的第三發(fā)明，在第一發(fā)明或第二發(fā)明的減壓干燥裝置中，所述小徑閥控制模式包括關(guān)閉所述大徑閥的第一小徑閥控制模式。