[發(fā)明專利]一種全自動(dòng)研磨機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910571986.0
• 申請(qǐng)日: 2019-06-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110153859A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡敬祥;高盼盼;黃郁聲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳方達(dá)半導(dǎo)體裝備有限公司
• 主分類號(hào): B24B27/00
• 分類號(hào): B24B27/00;B24B55/06;B24B41/00;B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B37/013
• 代理公司: 深圳市查策知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44527
• 代理人: 曾令安

1.一種全自動(dòng)研磨機(jī)，包括：底座、電控箱組件和研磨總成，所述電控箱組件和所述研磨總成均設(shè)置在所述底座上，其特征在于，所述研磨總成包括：用以固定工件的轉(zhuǎn)盤組件、氣懸浮墊盤、用以轉(zhuǎn)運(yùn)工件的轉(zhuǎn)運(yùn)組件、用以打磨工件的打磨組件、用以清洗轉(zhuǎn)盤的刷洗盤組件和用以檢測(cè)工件厚度的檢測(cè)組件，所述轉(zhuǎn)盤組件設(shè)置在底座上，所述轉(zhuǎn)盤組件上具有裝卸工位、粗加工工位和精加工工位，所述氣懸浮墊盤設(shè)置在轉(zhuǎn)盤組件與底座之間，所述轉(zhuǎn)盤組件與驅(qū)動(dòng)電機(jī)傳動(dòng)連接，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)升降組件與底座固定連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)研磨機(jī)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)盤組件包括：轉(zhuǎn)盤、設(shè)置在轉(zhuǎn)盤上的轉(zhuǎn)臺(tái)、驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)臺(tái)電機(jī)，所述轉(zhuǎn)臺(tái)電機(jī)設(shè)置在轉(zhuǎn)盤底部，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)與轉(zhuǎn)盤固定連接，所述轉(zhuǎn)臺(tái)上還設(shè)有真空吸附裝置，所述真空吸附裝置通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭與氣泵連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種全自動(dòng)研磨機(jī)，其特征在于：底座通過(guò)定位組件與轉(zhuǎn)盤進(jìn)行定位。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)研磨機(jī)，其特征在于：所述底座上安裝有設(shè)置有滑軌的支架，所述轉(zhuǎn)運(yùn)組件包括入料機(jī)械手和出料機(jī)械手，所述入料機(jī)械手和所述出料機(jī)械手均與滑軌滑動(dòng)連接，所述入料機(jī)械手包括：與滑軌滑動(dòng)連接的第一橫向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，與第一橫向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定設(shè)置的第一升降機(jī)構(gòu)，與第一升降機(jī)構(gòu)固定連接的第一轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)，與轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)固定連接的第一伸縮氣缸，所述第一伸縮氣缸水平設(shè)置，所述第一伸縮氣缸端部設(shè)有入料吸附裝置；所述出料機(jī)械手包括：與滑軌滑動(dòng)連接的第二橫向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，與第二橫向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定設(shè)置的第二升降機(jī)構(gòu)，與第二升降機(jī)構(gòu)固定連接的第二轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)，與轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)固定連接的第二伸縮氣缸，所述第二伸縮氣缸水平設(shè)置，所述第二伸縮氣缸端部設(shè)有出料吸附裝置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種全自動(dòng)研磨機(jī)，其特征在于：所述底座上設(shè)有入料放置臺(tái)和出料放置臺(tái)，所述入料放置臺(tái)到第一轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)軸的距離等于裝卸工位到第一轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)軸的距離，所述出料放置臺(tái)到第二轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)軸的距離等于裝卸工位到第二轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)軸的距離。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種全自動(dòng)研磨機(jī)，其特征在于：其特征在于所述底座上還安裝有轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)器人，所述底座上還設(shè)有防護(hù)殼，所述防護(hù)殼外設(shè)有存料臺(tái)，所述存料臺(tái)防護(hù)殼固定設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)研磨機(jī)，其特征在于：所述打磨組件包括：粗磨氣浮平臺(tái)和精磨氣浮平臺(tái)，所述粗磨氣浮平臺(tái)包括粗磨氣浮座、安裝在粗磨氣浮座上的粗磨升降氣缸、固定在粗磨升降氣缸端部的粗磨電機(jī)和設(shè)置在粗磨電機(jī)端部的粗磨盤，所述粗磨盤、粗磨電機(jī)和粗磨升降氣缸均設(shè)置在粗加工工位上方；所述精磨氣浮平臺(tái)包括精磨氣浮座、安裝在精磨氣浮座上的精磨升降氣缸、固定在精磨升降氣缸端部的精磨電機(jī)和設(shè)置在精磨電機(jī)端部的精磨盤，所述精磨盤、精磨電機(jī)和精磨升降氣缸均設(shè)置在精加工工位上方。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種全自動(dòng)研磨機(jī)，其特征在于：所述刷洗盤組件設(shè)置在裝卸工位正上方，所述刷洗盤組件包括：與滑軌滑動(dòng)連接的第三橫向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、與第三橫向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定設(shè)置的第三升降機(jī)構(gòu)及設(shè)置在第三升降機(jī)構(gòu)端部的刷洗盤。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種全自動(dòng)研磨機(jī)，其特征在于：所述檢測(cè)組件包括粗磨測(cè)厚儀和精磨測(cè)厚儀，所述粗磨測(cè)厚儀設(shè)置在粗加工工位旁的底座上，所述精磨測(cè)厚儀設(shè)置在精加工工位旁的底座上。

10.根據(jù)權(quán)利要求9的一種全自動(dòng)研磨機(jī)，其特征在于：粗磨盤打磨產(chǎn)品時(shí)所述粗磨盤至少覆蓋產(chǎn)品的一條半徑，精磨盤打磨產(chǎn)品時(shí)所述精磨盤至少覆蓋產(chǎn)品的一條半徑，所述粗磨測(cè)厚儀的粗磨檢測(cè)端與粗磨盤并列設(shè)置在粗加工工位上方，所述精磨測(cè)厚儀的精磨檢測(cè)端與精磨盤并列設(shè)置在精加工工位上方。