[發(fā)明專利]一種上下晶圓框架盒移動(dòng)機(jī)構(gòu)與晶圓送料系統(tǒng)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910571755.X | 申請(qǐng)日： | 2019-06-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN110371669A | 公開（公告）日： | 2019-10-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 葛威威;吳士勇;葛永恒;葛林四;韓鵬帥 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海提牛機(jī)電設(shè)備有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B65G49/07 | 分類號(hào)： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 上海啟核知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31339 | 代理人： | 王仙子 |
| 地址： | 201499 上*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 晶圓框架 滑塊 承載結(jié)構(gòu) 升降運(yùn)動(dòng) 滑軌 晶圓 升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 間接連接 送料系統(tǒng) 移動(dòng)機(jī)構(gòu) 送料 半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域 同步升降運(yùn)動(dòng) 傳輸過程 間接固定 同步下降 同步運(yùn)動(dòng) 下降過程 后支撐 平穩(wěn)性 裝載 懸空 承載 驅(qū)動(dòng) | ||
1.一種上下晶圓框架盒移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于晶圓送料的過程中，其特征在于：包括滑軌(8)、滑塊(12)、升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及承載結(jié)構(gòu)，所述承載結(jié)構(gòu)與所述滑塊(12)直接或間接固定連接；
所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述滑塊(12)沿著所述滑軌(8)的長(zhǎng)度方向做升降運(yùn)動(dòng)，以使得直接或間接連接于所述滑塊(12)的承載結(jié)構(gòu)同步發(fā)生升降運(yùn)動(dòng)；
所述承載結(jié)構(gòu)上升后支撐于晶圓框架盒(3)下側(cè)，下降過程中承載晶圓框架盒(3)同步下降，用于裝載所述晶圓框架盒(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種上下晶圓框架盒移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)(9)、主動(dòng)輪(6)、從動(dòng)輪(7)、傳動(dòng)于所述主動(dòng)輪(6)與從動(dòng)輪(7)之間的同步皮帶(5)；所述主動(dòng)輪(6)與從動(dòng)輪(7)相對(duì)于所述滑軌(8)的位置固定，所述滑塊(12)能夠隨所述同步皮帶(5)同步運(yùn)動(dòng)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(9)用于直接或間接驅(qū)動(dòng)所述主動(dòng)輪(6)轉(zhuǎn)動(dòng)，以利用所述同步皮帶(5)繞所述主動(dòng)輪(6)與從動(dòng)輪(7)的運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)所述滑塊(12)沿所述滑軌(8)長(zhǎng)度方向做升降運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種上下晶圓框架盒移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述承載結(jié)構(gòu)包括支撐平臺(tái)(16)，設(shè)于所述支撐平臺(tái)(16)的支撐座，以及與所述滑塊(12)直接或間接固定連接的連接板(4)，所述晶圓框架盒(3)設(shè)置于所述支撐座，所述支撐平臺(tái)(16)垂直安裝于連接板(4)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種上下晶圓框架盒移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述支撐座上安裝有位置檢測(cè)傳感器(11)，用于實(shí)時(shí)檢測(cè)所述承載結(jié)構(gòu)相對(duì)于所述滑軌(8)的位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的一種上下晶圓框架盒移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述支撐座(16)由四塊L型支撐塊(17)構(gòu)成，所述支撐塊(17)固定安裝于所述支撐平臺(tái)(16)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種上下晶圓框架盒移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于：還包括固定板(2)，所述滑軌(8)直接或間接設(shè)于所述固定板(2)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種上下晶圓框架盒移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述滑軌(8)形成于設(shè)置在所述固定板(2)上的滑軌基礎(chǔ)板(1)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種上下晶圓框架盒移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述滑軌(8)設(shè)有用以限制所述滑塊(12)升降運(yùn)動(dòng)位置的限位部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1、2或7任一項(xiàng)所述的一種上下晶圓框架盒移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于：還包括電機(jī)調(diào)整架，所述電機(jī)調(diào)整架包括上調(diào)節(jié)塊(10)、下調(diào)節(jié)塊(13)以及與所述滑軌基礎(chǔ)板(1)連接的驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝板(14)，所述上調(diào)節(jié)塊(10)設(shè)于所述滑軌基礎(chǔ)板(1)，所述下調(diào)節(jié)塊(13)設(shè)于所述安裝板(14)，利用上調(diào)節(jié)塊(10)與下調(diào)節(jié)塊(13)的配合，以調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電機(jī)(9)相對(duì)于主動(dòng)輪(6)的位置。
10.一種晶圓送料系統(tǒng)，其特征在于：包括權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的一種上下晶圓框架盒移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
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